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摘要 a[]=*(AZI N\l\ M 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 t@QaxZIlt; [!,&A{.! >B U0B 1. 建模任务
@D^y<7( {'E%SIRZ) 2. 干涉条纹的变化 >y"W( cjHo?m' IkFrzw p 3. VirtualLab Fusion概览 h^D?G2O fAm^-uq[ AIR,XlD 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 O;9u1,%w 设置输入场 |Nd!+zE$Z - Basic Source Models [教程视频] #Gx%PQ` 定义组件的位置和方向 A&jkc ' - Basic Source Models [教程视频] Ij` %'/J 正确设置通道以进行非顺序跟踪 S3EY9:^C - Basic Source Models [使用案例] 8{#WF# 使用参数运行检查影响/变化 V$VqYy9 * - Usage of the Parameter Run Document [用例] M' e<\wqm vP`Sz}FU
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n#` ~ P"@^cq 5. VirtualLab Fusion 技术 ~m8".Z" Zy|B~.@<j
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