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摘要 v0&E!4q*' tEh YQZ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 zBg>I=hiG xcz[w}{eEq 9&a&O
Z{ 1. 建模任务 %9B r AC:cV=' 2. 干涉条纹的变化 m08:EXP B/u0^! (lBgWz 3. VirtualLab Fusion概览 s=9gp$9m Ad !=
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}@ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 h.+{cOA;n 设置输入场 <J" 7ufHSQ - Basic Source Models [教程视频] w],+l N; 定义组件的位置和方向 X+2 aP'D - Basic Source Models [教程视频] Qvo(2( 正确设置通道以进行非顺序跟踪 2~[f<N - Basic Source Models [使用案例] +s?0yH-%p 使用参数运行检查影响/变化 @=4K%SCw - Usage of the Parameter Run Document [用例] 8G@I e FaS}$-0
[^sv. v%N/mL+5L 5. VirtualLab Fusion 技术 Uv|z
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