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摘要 $dr27tse&< )A"ZV[eOoQ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 y @]8Ep Y>(ZsHu p6B .s_G4 1. 建模任务 #:
dR^zr< .A )\F ",X 2. 干涉条纹的变化 %_]=i@Y~ g?w2J6Z.`J xYT#!K1* 3. VirtualLab Fusion概览 wxH(&CB-{ l7!U),x%/U ',L{CQA?c 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 MT;SRAmUr 设置输入场 9k714bnMLX - Basic Source Models [教程视频] E_ o{c5N 定义组件的位置和方向 M@',3 - Basic Source Models [教程视频] \.K\YAM< 正确设置通道以进行非顺序跟踪 iMP*]K-O - Basic Source Models [使用案例] bbfDt^ 使用参数运行检查影响/变化 7Qm;g-)f - Usage of the Parameter Run Document [用例] KyuA5jQ7 % JgRcx
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rtF4ia. 5. VirtualLab Fusion 技术 N1D6D$s 0 ws*~$x?7
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