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摘要 i)ctrdP- TgLlmU*qMU 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 !ywc). ]e |iI`p-L9 "lt[)3* 1. 建模任务 iD~s, O1"!'Gk[!L 2. 干涉条纹的变化 g&
Rk}/F "Y+`U [0Sd +{Q 3. VirtualLab Fusion概览 Fu$otMw%l p%_TbH3j` idq= US 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 TV}SKvu 设置输入场 pWqahrWh - Basic Source Models [教程视频] ~F-,Q_|- 定义组件的位置和方向 Fei$94a - Basic Source Models [教程视频] xnTky1zq 正确设置通道以进行非顺序跟踪 s]qfLC - Basic Source Models [使用案例] Wil+"[Ge 使用参数运行检查影响/变化 n9%rjS$ - Usage of the Parameter Run Document [用例] %k~=iDk@ 3
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