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摘要 @Hj]yb5 ,vR>hyM 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 T:j41`g%s I>MLI=[Kg []OS p& 1. 建模任务 u9_?c
G- OBF M70K 2. 干涉条纹的变化 R1*&rjB NiG&Lw*8 aR6~r^jB 3. VirtualLab Fusion概览 ,>6mc=p 8\il~IFyi dhLd2WSyH 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 covCa )kf 设置输入场 FUI/ A> - Basic Source Models [教程视频] m<Gd 6V5 定义组件的位置和方向 Jn(|.eT| - Basic Source Models [教程视频] ; <- f 正确设置通道以进行非顺序跟踪 B{#Fm6 - Basic Source Models [使用案例] kb-XEJ}L 使用参数运行检查影响/变化 8f,",NCgc - Usage of the Parameter Run Document [用例] dnANlNMk? >>=zkPy
,9OER!$y 8U#14U5rS 5. VirtualLab Fusion 技术 }T%E;m- #E4oq9{0*W
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