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摘要 vOz1& |;D 6|B9kh} 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 }Md;=_TP ^<-r57pz lqMr@
:t 1. 建模任务 rq!*unJ NZ i3U 2. 干涉条纹的变化 j-R*!i qF`6l( d,l?{Ln 3. VirtualLab Fusion概览 w$9LcN 3 1-p/ I-g/)2 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 0mUVa=)D 设置输入场 M+VWAh#uD - Basic Source Models [教程视频] hchG\i 定义组件的位置和方向 7_ayn#;y - Basic Source Models [教程视频] jMTM:~0N 正确设置通道以进行非顺序跟踪 /; Bmh= - Basic Source Models [使用案例] `ROHB@- 使用参数运行检查影响/变化 <]1,L% - Usage of the Parameter Run Document [用例] EmcLW74 :zKMw=
<C(o0u&/ ;XawEG7" U 5. VirtualLab Fusion 技术
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