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摘要 EQlb:;j Ll; v[Y 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 w~v6=^ nu+K
N,3R" 8WQ#) 1. 建模任务 aXj
UDu7 wJ2cAX;" 2. 干涉条纹的变化 13F]7l-# K'
`qR ~{lb`M^]h 3. VirtualLab Fusion概览 *:TwO=) btEyvqs~X 5&Yt=)c\ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 2fr%_GNu 设置输入场 \u`P(fI!K% - Basic Source Models [教程视频] xwZ1Q,'C 定义组件的位置和方向 lgiKNZgB? - Basic Source Models [教程视频] -&7?!<f 正确设置通道以进行非顺序跟踪 kbb!2`F!% - Basic Source Models [使用案例] *O'|NQhNx> 使用参数运行检查影响/变化 cJ$jU{} - Usage of the Parameter Run Document [用例] HI|egf@ THQ #zQ-
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^ 5. VirtualLab Fusion 技术 Kt*b)
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