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摘要 -U{!'e8YiN ao"Z%#Jb~ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 e8&7W3 m zbJ}@V w19OOD 1. 建模任务 nT7]PhJ bsc#Oq] 2. 干涉条纹的变化 U45-R- LhSXz>AX em2Tet 3. VirtualLab Fusion概览 gZ
us}U c_ u7O
\ lNMJcl3 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 0x#
V 设置输入场 k>=wwPy - Basic Source Models [教程视频] TA+#{q+a 定义组件的位置和方向 L+Gi - Basic Source Models [教程视频] ZU`HaL$ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 4{h^O@*g - Basic Source Models [使用案例] cqp^**s 使用参数运行检查影响/变化 rIX 40,` - Usage of the Parameter Run Document [用例] rS0#]Gg MfraTUxIo/
1pqYB]*u_ O O-Obg^ 5. VirtualLab Fusion 技术 yMOYTN@] KP!7hJhw
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