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摘要 |B\76Nk GgvMd~ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 OZ<fQf.Gh} U[ogtfv`m {'?PGk%v 1. 建模任务 W#x~x| (c "Z-YZ>2 2. 干涉条纹的变化 @<
0c ' |yBz1uL P@Pe5H"o 3. VirtualLab Fusion概览 {^R"V ,) 0A75)T=lQ .;:dG 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 TSRl@QVy 设置输入场 {'+.?g - Basic Source Models [教程视频] GM0pHmC 定义组件的位置和方向 reNUIDt/c - Basic Source Models [教程视频] j>hBNz 正确设置通道以进行非顺序跟踪 AnBD~h h - Basic Source Models [使用案例] ?Vi U%t8J5 使用参数运行检查影响/变化 z{U^j:A - Usage of the Parameter Run Document [用例] S$GWY^5}{ Xh*NuHH
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u$(XZ;Jg 5. VirtualLab Fusion 技术 p,mKgL63 <x:^w'V_b
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