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摘要 ZL,6_L/ jccOsG9;_ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 6P^hN%0 AC'lS
>7s %W&1`^Jl 1. 建模任务 qEZ!2R^`G tJAnuhX 2. 干涉条纹的变化 Td& |