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摘要 V]9?9-r V|fs"HY 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 2]*2b{gF, c
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8%+$vX 1. 建模任务 x_5H_! \# vd<"
G} 2. 干涉条纹的变化 Y,@{1X`0@3 }mC-SC)oSi -gV'z5 3. VirtualLab Fusion概览 P1ab2D `W8dayZt [e'Ts#($A 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 #`4ma:Pj 设置输入场 zW^@\kB0D - Basic Source Models [教程视频] Sc*O_c3D 定义组件的位置和方向 ?79ABm
a - Basic Source Models [教程视频] |ldRs'c{ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 K(HP PM\ - Basic Source Models [使用案例] 6^.< |