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摘要 D0=H&Z[ <w d+cPZQr 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 fu 95-)M e'uI~%$NJL $=GZ"%ED 1. 建模任务 k%Q>lf<e vxzOG?Xc: 2. 干涉条纹的变化 QNH5Cq;Y uiIY,FL$ TY3WP$u 3. VirtualLab Fusion概览 ^w XXx=Xf &dkj |