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摘要 $GX9-^og=T ;(;{~1~ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 5
DvD HsAKz]Mq l5l#LsaQb 1. 建模任务 _A=Pr_kN
bj U]] 2. 干涉条纹的变化 |gM@}!DL IW- BY =C 5hE mXZ% 3. VirtualLab Fusion概览 {{Z3M>Q 17@#"uT0 rWxQ;bb# 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 1|3{.Ed 设置输入场 R^tDL - Basic Source Models [教程视频] cA25FD 定义组件的位置和方向 lb[\Lzdvmu - Basic Source Models [教程视频] !F~*Q2PZ9 正确设置通道以进行非顺序跟踪 E:S (v - Basic Source Models [使用案例] l]KxUkA+ 使用参数运行检查影响/变化 [5$Y>Tr! - Usage of the Parameter Run Document [用例] J G3#(DVc; D?}K|z LQ
+N>&b% 8^av&u$ 5. VirtualLab Fusion 技术 Jevr.& |