摘要
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MtUY?O.P2 A*F9\mjI5 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
j&CZ=?K^c C`0%C7 设计任务
TT7PQf > fL Nag~
.!yq@Q|=u /lJjQ]c;> 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
RM,'o[% Fg=v6j4W 扫描参数空间以获取初始解
O&V[g>x"U =Z`0>R`
hJ[UB Cw#V`70a 初始解#1的参数优化
<HF-2?` c&*l"
dE [Ol io2@}xZF 最终设计#1的性能分析
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zMGzReJ `W"G!X- 初始解#2的参数优化
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2ykCtRe DA=1KaJ . 最终设计#1的性能分析
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?Y3@" rdR aZKXD! 4 VirtualLab Fusion一瞥
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y|sma;D eYEc^nC,c) VirtualLab Fusion中的工作流程
C:GvP> _Adsq8sFW 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces I4ilR$jg ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media h8=h >W- 分析光栅
衍射效率
A[H;WKn0 ─
Grating Order Analyzer >a=d; 使用参数运算寻找初始解
C[YnrI! ─
Usage of the Parameter Run Document ]XUSqai 使用参数优化确定最终解
|zpx)8Q S$O,] @) VirtualLab Fusion技术
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