摘要
>iOzl wmG =/u%c!
U3izvM qS/V"|G( 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
\S*$UE]uG xXY.AoO6 设计任务
`}m Q SG?Nsp^%`B
9%iUG(DC "+z?x~rk 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
A%Xt|=^_ zF@o2<cD@ 扫描参数空间以获取初始解
s-Aw<Q)d V~T@6S
WpS1a440 SFb{o<0 = 初始解#1的参数优化
;>%~9j1C Bd^"=+c4
'S<%Xm '=E3[0W 最终设计#1的性能分析
K*IxUz( [L6w1b,
~
^>417> WEa2E?* 初始解#2的参数优化
@v}B6j b; jSOS}!=
"c(Sysl.L TgTnqR@/ 最终设计#1的性能分析
tM,%^){p$ 4"@GNk~e
?f*Q>3S) ewuXpv%vwW VirtualLab Fusion一瞥
R*zO
dxY ygSL
FP#FB$eP
,;<RW]r-P VirtualLab Fusion中的工作流程
vLa#Y(" '~ 4pl0TWc 构建
光栅结构
E15vq6 DKF ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces '.Ym!r~wL ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media W%e_~$H0 分析光栅
衍射效率
[ U8$HQ+x ─
Grating Order Analyzer 6*nAo8gl 使用参数运算寻找初始解
$&Kq*m 0g ─
Usage of the Parameter Run Document ,&7Wa-vf 使用参数优化确定最终解
h{}mBQl ?Pwx~[<1"" VirtualLab Fusion技术
3ta$L"a b@t5`Y-+K