摘要
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0X3yfrim RqX^$C8M 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
0SDnMij&bf 5] LfJh+"n 设计任务
5th?m> hd6O+i
Y4
!2h ZtX k.z(.uc= 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
#q4uS~ HuJc*op-6 扫描参数空间以获取初始解
#_{Q&QUk o7t{?|
U*b7 Pxq; jD${ZIv 初始解#1的参数优化
|{v#'";O: |kP utB
L7hRFf-o p6Z|)1O] 最终设计#1的性能分析
bf|ePGW? NBHpM}1xtU
v2_` iwE yM~bUmSg 初始解#2的参数优化
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GT)/|
?U{<g,^ 'ZB^=T 最终设计#1的性能分析
-Caj>K &O^-,n
^Kg n:l 5VJe6i9; VirtualLab Fusion一瞥
X
=%8*_ |R1T;J<[
5dB62dqN =YTcWB VirtualLab Fusion中的工作流程
[q_+s s M*ay,v; 构建
光栅结构
mf)+ 5On ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 1I{8 | ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media FF~r&h8H 分析光栅
衍射效率
>=|p30\b ─
Grating Order Analyzer BjeD4 使用参数运算寻找初始解
vaGF(hfTA ─
Usage of the Parameter Run Document ?*%_:fB 使用参数优化确定最终解
bi^?SH\ w7o`BR VirtualLab Fusion技术
,T`,OZm g(WP