摘要
'coY`B; 8 WU,b<PU &
:j/sTO= jL'R4z 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
#|=lU4Bf (rBYE[@, 设计任务
(W[]}k; :wUi&xw
cXYE!( w2lO[o~x} 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
O]!o|w( x>T+k8[n 扫描参数空间以获取初始解
z+zEH9.' ]4K4Nh~
>8$Lqj^i zpzxCzU 初始解#1的参数优化
95ix~cH3q K&T.~2'>
z*cKH$': \,lIPA/L 最终设计#1的性能分析
KUHkjA_ ;r.#|b
"/3YV%to-# um2}XI 初始解#2的参数优化
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.VohW=D3 QpS7nGev 最终设计#1的性能分析
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6X!jNh$oF S/YHT)0x[ VirtualLab Fusion一瞥
^nDa-J$ kN 0N18E
'rVB2
`z- cu)B!#<!& VirtualLab Fusion中的工作流程
jBd=!4n I<Mb/!TQ 构建
光栅结构
O]@s`w ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces _'n]rQ' ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media =T)y(]
;M$ 分析光栅
衍射效率
KJs`[,;< ─
Grating Order Analyzer NH*"AE; 使用参数运算寻找初始解
c}H}fyu%n ─
Usage of the Parameter Run Document wbg?IvY[ 使用参数优化确定最终解
|C0!mU k"m+i VirtualLab Fusion技术
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