摘要
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^2M!*p&h D\T!4q'Q 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
WA.\*Nqz e EH+~].PJd 设计任务
Dd2Lx&9 ke.7Zp2.R
76#.F
td(M#a- 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
h K}bj i&@,5/'-_O 扫描参数空间以获取初始解
h[ 6hM^n bEr.nF
iTNqWU-o LnMwx#^* 初始解#1的参数优化
i@<~"~>]7 udT xNl!
}NX\~S" %7`d/dgR 最终设计#1的性能分析
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#cEq_[yI 2Yyb#Ow 初始解#2的参数优化
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?N^>zie Ww87 最终设计#1的性能分析
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*=^[VV! ,e ELRzjl VirtualLab Fusion一瞥
(4)3W^/kk? ^L~ [+|
AZ8UXq 1e$[p[ VirtualLab Fusion中的工作流程
`QCD$= |z7dRDU}] 构建
光栅结构
1XnBK$` ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces lgG8!Ja ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media $o+&Y5: 分析光栅
衍射效率
FYeEG ─
Grating Order Analyzer *#ompm 使用参数运算寻找初始解
ip5u_Xj? ─
Usage of the Parameter Run Document F>Mr<k=@; 使用参数优化确定最终解
EC dfLn *c {dZ8;Fy4 VirtualLab Fusion技术
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