摘要
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HMS9_#[kE w \i# 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Y=x]'3}^ #8%Lc3n 设计任务
Pd%o6~_* +<"sC+2
.B"h6WMz f<!eJO:<' 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
EbY%:jR mUm9[X~' 扫描参数空间以获取初始解
y2TJDb1 Pp@ P]
zK}$W73W^ gK9@-e 初始解#1的参数优化
#Ji&.T^U/ 7 H.2]X
S)n~^q elJLTG 最终设计#1的性能分析
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7$\;G82_ G;yf]xFd 初始解#2的参数优化
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Rqr mG1=8{o^ 最终设计#1的性能分析
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>(|T]u](q -nV]%vJ$R} VirtualLab Fusion一瞥
vO&%sjvH y7u"a)T
>IJH#>i H .JA)*b- VirtualLab Fusion中的工作流程
Zyu4! 38tRb"3zP 构建
光栅结构
bsmZR(EnU ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces G9 ;X=c ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media Elom_ 分析光栅
衍射效率
{<v?Z_!68 ─
Grating Order Analyzer 'Wn'BRXq3 使用参数运算寻找初始解
<2fZYt vt ─
Usage of the Parameter Run Document -L NJ*?b 使用参数优化确定最终解
3T'9_v[Y 4@u*#Bp`| VirtualLab Fusion技术
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