摘要
ly,d = U
R@'J@V#:
(qB$I\ go{'mX) }u 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
=(Gv_ '<1T>|`/t 设计任务
{#Gr=iv~N Q@]#fW\Y
+TUtVG Q6}`% 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
: 2?i9F0_ !f7}5/YC7v 扫描参数空间以获取初始解
jL`S6E?7 W.0dGUi*
{u9VHAXCf (M5=8g%>d 初始解#1的参数优化
4P2)fLmc oVmGZhkA@'
=A=er1~% j##IJm 最终设计#1的性能分析
+-8uIqZ )(75dUl
$C^94$W ,ci
tzh 初始解#2的参数优化
]
J:^$] 8 kd
$!KV]] v*3ezf\ 最终设计#1的性能分析
W W== LD^V="d
t0}3QGf;c >@y5R^B` VirtualLab Fusion一瞥
VN`2bp>5I Y.Gr(]tk
!:e}d+F -?'u"*#1, VirtualLab Fusion中的工作流程
f4X?\e GT +s_@964 构建
光栅结构
dwJ'hg ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces M^+~r,D1u ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media n*bbmG1 分析光栅
衍射效率
qw"`NubX ─
Grating Order Analyzer Mb?6c y[ 使用参数运算寻找初始解
FV:{lC{h~ ─
Usage of the Parameter Run Document ]6$NU
[ 使用参数优化确定最终解
?c=l"\^x +2C:] VirtualLab Fusion技术
"t4~xs`~X =_L"x~0I-