摘要
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A03I-^0g+
rC~_:uXtE 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
qP@L(_=g QK,=5~I J 设计任务
Jr|K> "rL"K
'\4c "Ho eN Hpgj 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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&)<s EwC5[bRjUp 扫描参数空间以获取初始解
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3@%BA(M _3*: y/M_ 初始解#1的参数优化
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RT1{+:l -Cg`x=G;z 最终设计#1的性能分析
/vMQF+ )j$b9ZBk
D:+)uX}MOf xzuPie\ 初始解#2的参数优化
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i/l!Cr2 )*"T 最终设计#1的性能分析
MH C.k= 8ct+?-3g
~5x4?2 sDW"j\ VirtualLab Fusion一瞥
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Krt$=:m|1 {ILp[&sL VirtualLab Fusion中的工作流程
k8!hvJ)? N[- %0 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces yBUZVqqDa ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ahK?]:&QO 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer WsG"x>1n 使用参数运算寻找初始解
8#NIs@DJ ─
Usage of the Parameter Run Document &<\4q 使用参数优化确定最终解
9Ba%= FY_avW VirtualLab Fusion技术
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