摘要
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S\D& H/`G
oAnigu; m#MlH=- 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
sX5sL zp#:EZ 设计任务
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xKb"p4k9d gY%&IHQ' 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
]?&H^"= pZ\$50t&O 扫描参数空间以获取初始解
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Oa.xyp Z8fJ{uOIL 初始解#1的参数优化
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)7w@E$l" uOFnCy 4 最终设计#1的性能分析
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A!4VjE> &N9IcNP 初始解#2的参数优化
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\=Nm5: n.I2$._(b 最终设计#1的性能分析
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6+)x7g1PL X\mz+al>[ VirtualLab Fusion一瞥
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-)6;0 *:[b'D!A VirtualLab Fusion中的工作流程
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X?R
|x[ 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Uh%6LPg^ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 2md.S$V$, 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer F: ,#? 使用参数运算寻找初始解
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Usage of the Parameter Run Document Y!it!9 使用参数优化确定最终解
c(CJ{>F% EZ `}*Yrd VirtualLab Fusion技术
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