摘要
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1Yq!~8 b1cy$I 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
9i:L&dN 6%' QjwM_ 设计任务
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9+|$$) Cp\6W[2+B 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
~g91Pr XPc^Tq 扫描参数空间以获取初始解
l]5KN N%@Qf~
gb1V~ KYm0@O>; 初始解#1的参数优化
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U gat1Pz \
#F 最终设计#1的性能分析
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G[ PtkPSJ L(6d&t'|-R 初始解#2的参数优化
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>>r(/81S h'llK6_) 最终设计#1的性能分析
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B`)BZ,#p bIDj[-CDG VirtualLab Fusion一瞥
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c^xIm'eob h8q[1"a: VirtualLab Fusion中的工作流程
BKCiIfkZ s[>,X#7 y 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 8
/]S^'> ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media +HpA:]#Y 分析光栅
衍射效率
{lzWrUGO ─
Grating Order Analyzer EU 6 oQ 使用参数运算寻找初始解
Wtd/=gmiI ─
Usage of the Parameter Run Document 4\N;2N 使用参数优化确定最终解
Pbn*_/H %A/0 ' VirtualLab Fusion技术
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