摘要
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|;Se$AdT# z`xz~9a< 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
iZkW+5( .Kh(F6
s 设计任务
H(%] Os }VGI Y>v
'^-4{Y^2E x^='pEt{ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
~*cY& 9 LDi ezi 扫描参数空间以获取初始解
TReM8Vd P/gb+V=g!
p^zEfLTU :)J~FVLy 初始解#1的参数优化
}ygbgyLa zfr (dQ
_Okn P2E 1<qVN'[ 最终设计#1的性能分析
Cs1%g tO+ %b=Z^
j]F#p R}p X_tW#` 初始解#2的参数优化
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Ti@P4:q
5rHnU<H@y 最终设计#1的性能分析
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Z_OqXo= V Q,\O VirtualLab Fusion一瞥
dV2b)p4J dS;|Kl[Om
RP@idz TNyY60E VirtualLab Fusion中的工作流程
Y^*$PED? ukDH@/ 构建
光栅结构
P#2TM ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces T\e)Czz2- ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media i2ml[;*,N 分析光栅
衍射效率
7dg
5HH ─
Grating Order Analyzer ^%*{:0' 使用参数运算寻找初始解
0.Ol@fO ─
Usage of the Parameter Run Document *(SBl}f4l 使用参数优化确定最终解
.IAHy)li" ://|f VirtualLab Fusion技术
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