摘要
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6'3@/. 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
qrsPY d 559znM= 设计任务
+ G#qS1 > nDx)!I
(Eq0 |"cj &B1d+.+ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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扫描参数空间以获取初始解
K, ae-#wgb 9[N+x2q
K'+GK S7. }#Z Q\[ 初始解#1的参数优化
gk >-h,>" $?YRy_SI
lpQsmd# ^a4 y+! 最终设计#1的性能分析
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*A':^vgk >:!TfuU^R 初始解#2的参数优化
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br*L|s\P\9 vE0Ty9OH"] 最终设计#1的性能分析
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Fy3&Emu ??5qR8n. VirtualLab Fusion一瞥
4h\MSTF* oqH811
F2WUG PdcF VirtualLab Fusion中的工作流程
b&f;p}C24 !Sx}~XB< 构建
光栅结构
?sWPx!tU ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces -Qgu6Ty ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ?}\aG3_4 分析光栅
衍射效率
h~)oiT2v ─
Grating Order Analyzer n&Bolt(tO 使用参数运算寻找初始解
Wu(6FQ`H ─
Usage of the Parameter Run Document SV}q8z\ 使用参数优化确定最终解
s7e)Mt R}IMX9M= VirtualLab Fusion技术
u POmiF mE^mQ [Dk