摘要
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baxZ>KNi aSL`yuXu 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
7Cgi& Gp"GTPT{ 设计任务
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@MW@mP)# jHLs
5% 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
v2T2/y% 3h:j.8Z 扫描参数空间以获取初始解
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*$f=`sj Kxe\H'rR 初始解#1的参数优化
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C2
N+X ( {#,<)wFV\ 最终设计#1的性能分析
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uuzV,q fXD+ 初始解#2的参数优化
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q+P@2FL f/Gx}x= 最终设计#1的性能分析
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#Z&/w.D2 [&x9<f6 VirtualLab Fusion一瞥
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7DB_Z/uU 1S{Biqi+ VirtualLab Fusion中的工作流程
j"W>fC/u `e[S Zj\ 构建
光栅结构
C]^Ep ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces uF ?[H -y ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media JsEJ6!1 分析光栅
衍射效率
sdp&D@ ─
Grating Order Analyzer ,Oo`*'a[o7 使用参数运算寻找初始解
I-#H+\S ─
Usage of the Parameter Run Document 7ZcF0h 使用参数优化确定最终解
PKm|?kn{0( ,'L>:pF3 VirtualLab Fusion技术
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