摘要
xjpW<-)MLf `*a,8M%
,J~dER\% T"jl;,gr]J 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
]{hfM I}X8-WFB 设计任务
'zaB5d~l e+mD$(h
7o<RvM I(.XK ucU 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
sIpK@BQ' RjT[y: ! 扫描参数空间以获取初始解
sXWMXQ3 C6`8dn
-vyC,A fOJyY[ 初始解#1的参数优化
z!%}0 $f+9svq
T1E=<q4 }73H$ss: 最终设计#1的性能分析
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FD<~?- 8Y9mB#X 初始解#2的参数优化
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8_ i=ba=-"Mt 最终设计#1的性能分析
;8@A7`^ Ii)TCSt9U?
=k'dbcfO$9 (.c?)_G, VirtualLab Fusion一瞥
pr2d}~q4{ EQ28pAZ
46vz=# ,6L >QyMeH VirtualLab Fusion中的工作流程
eg3{sDv, Abl=Ev 构建
光栅结构
5XhV+t
g. ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces +m1edPA[ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ,FTF@h-Cs 分析光栅
衍射效率
gC 4w&yL ─
Grating Order Analyzer
>4Lb+] 使用参数运算寻找初始解
6jn<YR
E-
─
Usage of the Parameter Run Document X#J[Nn> 使用参数优化确定最终解
|89`O^ FUDMaI VirtualLab Fusion技术
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