摘要
q g+bh ,y57tY
=7U_ jDME D!oELZ3 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
kr|u || Uxyj\p 设计任务
Zh]FL8[
nc _V`Gmy[]p
?Gq|OT8 I;<aJo6Yl 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
LT3ViCZ-n 6HW8mXQh<h 扫描参数空间以获取初始解
/bd1Bi +W6QtB6
j}CZ* rIE
m 初始解#1的参数优化
MZ{gU>K+ tJQFhY
Oa'DVfw2J f/Lyc=-] 最终设计#1的性能分析
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$bd&$@sA A80r@)i 初始解#2的参数优化
,y+}0q-Ou /Y>$w$S
/@<&{_sybp U '#Xwax 最终设计#1的性能分析
GYX/G>-r Sl8A=Ez
/2!Wy6p k-$5H~(PZ VirtualLab Fusion一瞥
\!erP!$x. QD6in>+B@
Y'YvVI S<f]Y4A& VirtualLab Fusion中的工作流程
\D9J!K82 PE IUKlX 构建
光栅结构
r{V=)h ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces q;^Q1[Ari ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media +ti_?gfx 分析光栅
衍射效率
e-Xr^@M*Q ─
Grating Order Analyzer [=})^t?8 使用参数运算寻找初始解
&.zG?e. ─
Usage of the Parameter Run Document J\kGD 使用参数优化确定最终解
_NfdJ=[Xh J 8z|ua VirtualLab Fusion技术
OM]d}}=Y ]5V=kNui