摘要
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qXXYF>Z- 83mlZ1jQz 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
l\q*%'Pe OAmES;Ck$( 设计任务
r~8D\_=s ^>3tYg&7
5x:Ift
* *jYHd#UZx4 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
i}.{m Et Zkf 3t>[ 扫描参数空间以获取初始解
>+yqjXRzm CnxK+1n l
mle_*Gy8 vF5wA-3&t 初始解#1的参数优化
F?*Dr E"Ya-8d=
nAQyxP% ^VSt9& 最终设计#1的性能分析
A8=e?% .OVW4svX
L9E;Uii0 0_YxZS\ 初始解#2的参数优化
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b:N^Fe xi
'72 最终设计#1的性能分析
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.`oJcJ Wl^prs7}c VirtualLab Fusion一瞥
A)b)ff , ]_^"|RJ
-X"5G
:BewH?Ku VirtualLab Fusion中的工作流程
:FX'[7;p "#mXsp-ut 构建
光栅结构
F/Rng'l ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 3a'Rs{qxn
─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media {0NsDi>(2 分析光栅
衍射效率
,!o\),N ─
Grating Order Analyzer K7t&fDI 使用参数运算寻找初始解
ikEWY_1Y ─
Usage of the Parameter Run Document ua]\xBWx 使用参数优化确定最终解
7Y-FUZ.`> /|4Q9= VirtualLab Fusion技术
W~XV v`[Tl