摘要
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D!mx &O9 ijmGk:L( 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
;N!opg))d< E.G]T#wt0 设计任务
<sG}[:v yC7lR#N8j0
I "HEXsSe ~7:Q+ 0,, 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
+|qw>1J( 6t3Zi:=I 扫描参数空间以获取初始解
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M:oZk&cs %v[KLMo'( 初始解#1的参数优化
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36}&{A c9Q _Qr0' 最终设计#1的性能分析
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T?1v*.[ lS?#(}a1) 初始解#2的参数优化
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M?).5 最终设计#1的性能分析
V^_U=Ed@M $`<-;kI
X?Or. lD$\t/8B VirtualLab Fusion一瞥
8d(l)[GZt );{76
@ X5#? oiQ:&$y VirtualLab Fusion中的工作流程
DS ;.)P" u56F;y 构建
光栅结构
= VMELk!z ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Nt687 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media T-Yb|@4 分析光栅
衍射效率
bd[iD?epD] ─
Grating Order Analyzer 0@RVM| 使用参数运算寻找初始解
>]kZ2gVt ─
Usage of the Parameter Run Document [ ^gb6W9Y 使用参数优化确定最终解
K;]Dh? xW58B VirtualLab Fusion技术
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