摘要
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{H\(H_X ;Wo\MN 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Msk^H7 .b3cn 设计任务
vvsQf% ;$0)k(c9
H&yK{0H Ah|,`0dw 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
z }t{bm L_k'r\L 扫描参数空间以获取初始解
<<ze84E ?6m6 4{M
*8a8Ng IM^K]$q$47 初始解#1的参数优化
xDJs0P4 ]V `L\
2#^@awJ ? fD1a)Az 最终设计#1的性能分析
3T<aGW1 a$7}41F[~s
Z2%ySO NI1jJfH|l 初始解#2的参数优化
&B;M.sz~C4 U|NVDuo{{x
}8zw| (GR, a$~pAy5C 最终设计#1的性能分析
NDmTxW#g 4dd] Ju
l<89[{9o E|Q|Nx!6[ VirtualLab Fusion一瞥
IwR/4LYI U^xz>:~
wcd1.$ n !:N&tuJEv VirtualLab Fusion中的工作流程
>7fNxQ oaK&!$S] 构建
光栅结构
o-m9}pV ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces {e1akg. ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media TsvF~Gdp 分析光栅
衍射效率
:'F7^N3;H ─
Grating Order Analyzer R)<PCe`vf 使用参数运算寻找初始解
5i$iUDuT>( ─
Usage of the Parameter Run Document gaIN]9wLm 使用参数优化确定最终解
AMm)E XITh_S4fs= VirtualLab Fusion技术
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