摘要
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DF =.G1 s3^SjZb 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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6 @jeV[N,0 设计任务
Br??Gdd ITiw) M
+w5?{J 96j2D8=w 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
n|6yz[N 4 XQ?By 扫描参数空间以获取初始解
Q+dI,5YF _v,n~a}&
df\>-Hl LlqhZetS 初始解#1的参数优化
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UW3F) Bnv%W4 最终设计#1的性能分析
{BU,kjv1g DK1)9<
~K`blW47 us+adS.l& 初始解#2的参数优化
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bcf OpA k,& QcYw 最终设计#1的性能分析
Af~AE2b3" -9EbU7>!
?`$4ZDM tWuQKN`_ VirtualLab Fusion一瞥
ZW"J]"A E*vi@aI
^D)C|T /_8V+@im VirtualLab Fusion中的工作流程
#s%$kYp 1 Jt"Wtr 构建
光栅结构
\D=B-dREq ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces P+a&R<Dj4 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media JI(|sAH 分析光栅
衍射效率
[cq>QMW ─
Grating Order Analyzer uwJkqlUOz 使用参数运算寻找初始解
!Fi)-o ─
Usage of the Parameter Run Document Y/gCtSF 使用参数优化确定最终解
paY%pU >e%Po,Fg$ VirtualLab Fusion技术
Cpl)byb s0CRrMk