摘要
o{K#LP FK,YVY
Aq &H-g]s MrS~u 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
82=>I*0Q 'c/Z
W 设计任务
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Q\Nz^~dQ:Y xJE26i 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
f\vg<lca "3uPK$ 扫描参数空间以获取初始解
1Qo2Z;h@ V#d8fRm
{ Em fw9L o~p%ODH 初始解#1的参数优化
@-jI<g :*E#w"$,j
Cn8w})B ,*{9g6 最终设计#1的性能分析
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;,jms~ik 4qLH3I[Y VirtualLab Fusion一瞥
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sRf?JyB pe7R1{2Q_s VirtualLab Fusion中的工作流程
#~@Cl9[)D ~;B@ {kFY) 构建
光栅结构
$tFmp) ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces lG!We'? ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media #~>ykuq 分析光栅
衍射效率
4"y1M=he ─
Grating Order Analyzer H+2m 使用参数运算寻找初始解
58.b@@T ─
Usage of the Parameter Run Document ^# gR"\F`d 使用参数优化确定最终解
*^-~J/ w%Tjn^ d VirtualLab Fusion技术
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