摘要
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87D*-Gw bbrXgQ`s+w 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
$GlWf .zi_[ 设计任务
^J$2?!~ DRcNdO/1E
28 ?\ :A/d to 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
mV3cp rRqv S:h{2{ 扫描参数空间以获取初始解
:]\([Q+a 9I&xfvD,
d3D] k, 9I}-[|`u 初始解#1的参数优化
M7pOLP_1jB 7S}_F^
#"@|f ~ _/(t'9 最终设计#1的性能分析
`{dm;j5/y 03q5e
A"L&a
l$i `aciXlqIF 初始解#2的参数优化
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%J+E/ H{Wu]C<@p 最终设计#1的性能分析
=ALTUV3/q <g$~1fa
#d6)#:uss PGqQ@6B VirtualLab Fusion一瞥
1`=nWy=' E|iQc8gr&
qm/)ku0 N sXHO VirtualLab Fusion中的工作流程
Q+[n91ey** M/b Sud?@% 构建
光栅结构
jIJ~QpNE ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces AE[b},-[ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media _852H$H\ 分析光栅
衍射效率
.P8&5i)'P, ─
Grating Order Analyzer pFOx>u2`a 使用参数运算寻找初始解
;r<^a6B ─
Usage of the Parameter Run Document Ayxkv)%:@) 使用参数优化确定最终解
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R ]NV !2%HhiB' VirtualLab Fusion技术
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