摘要
zjbE 7^N AfWl6a?T8:
d5xxb _oE +h[e0J|v{ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
;:#U6?=t hd^x}iK" 设计任务
y{rn-?`{ #-x@"+z
`ypL]$cW qR,.W/eS8 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
5 Rz/Ri\c= $>vy(Y 扫描参数空间以获取初始解
iV)ac\ HY;oy(
oW'POAr D?u` 初始解#1的参数优化
]UUI~sFE [%.18FWI
GEE
]Kr H/i<_L P 最终设计#1的性能分析
S!j^|! Fe="EDh
G:+16XCra me. /o(!? 初始解#2的参数优化
1k>naf~O N_vXYaY
ce5nG0@# ?:}Pa<D&K 最终设计#1的性能分析
9y+[o ltEF:{mLe#
A^pW]r=Xtk N#Ag'i4HF VirtualLab Fusion一瞥
xURw, x YT}>#[
Kfjryo9 `C<F+/q VirtualLab Fusion中的工作流程
[_%,6e+ ;:_(7| 构建
光栅结构
a;&}zcc* ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces a%n'%*0 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media >-<F) 分析光栅
衍射效率
G^KC&
─
Grating Order Analyzer 5+y`P$K@ 使用参数运算寻找初始解
n#>5?W ─
Usage of the Parameter Run Document G7Ny"{Z 使用参数优化确定最终解
K`gc 4:A p"KV*D9b VirtualLab Fusion技术
6PJ'lA;*b EW;1`x