摘要
"Id1H ^S(QvoaQ
6LqF*$+$` AXv-%k}; 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
BHU=TK@GR V@\u<LO0G 设计任务
14(ct ~
cI`$kJ
db>"2EE 0%yPuY> 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
>GmO8dK n8FIxl&u 扫描参数空间以获取初始解
2;w> w#}> U?
;Q\=>
Fu[GQ6{f bP%X^q~]A 初始解#1的参数优化
n'1LNi .sb0|3&
'u_j5 R''2o_F6 最终设计#1的性能分析
shiw;.vR{B biU
?>R
8k_hX^ ?ea5k*#a 初始解#2的参数优化
y`cL3
xr4R v7f[$s$m
wBEBj7(y j#YVv c% 最终设计#1的性能分析
{J/+KK >;}(?+|f
th5UzpB4 .s|5AC[ VirtualLab Fusion一瞥
GKG:iR) K1o&(;l8G
xFA`sAucr h|<;:o?yh VirtualLab Fusion中的工作流程
:J+ANIRI Z5`V\$ 构建
光栅结构
\[/}Cy ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ojVN-*5
─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media w*u.z(:a` 分析光栅
衍射效率
0QEcJ]Qb8 ─
Grating Order Analyzer N1U.1~U 使用参数运算寻找初始解
GbvbGEG ─
Usage of the Parameter Run Document v2YU2-X[ 使用参数优化确定最终解
OK
z5;#S= %2beoH' VirtualLab Fusion技术
V h5\'Sn [lzH%0
V