摘要
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i&" 5 Q6{(q|M
Tsm1C#6 Y* %\X P: 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
q,;".3VQ nW$A^ 设计任务
!B [1zE C!ZI&cD9
w69>tC ;OQ'B=uK 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
I;kf
#nvao q)K-vt)98 扫描参数空间以获取初始解
Wj&<"Z6'm( I" 8d5a}
r~Y>+ln. k
Zk .]b 初始解#1的参数优化
LKR= =;qn E/wQ+rv
ERp:EZ' %PQldPL8 最终设计#1的性能分析
Ud>`@2 lSn5=^]q
]PR|d\O jo,6Aog|u 初始解#2的参数优化
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eZ!yPdgy| uIYcmF\? 最终设计#1的性能分析
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+* VirtualLab Fusion一瞥
]{K5zSK wD<vg3e[H
<WM -@J(1 /yx=7< VirtualLab Fusion中的工作流程
I`/]@BdgY "NxOOLL 构建
光栅结构
| f"-|6 ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces MS{Hz,I, ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media r> Fec 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer Qe2m8 使用参数运算寻找初始解
gb]hOB7g ─
Usage of the Parameter Run Document AU0$A403 使用参数优化确定最终解
pt=7~+r "I5uDFZR& VirtualLab Fusion技术
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