摘要
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$v"CQD 9[`\ZGWD 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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z 0}T56aD=! 设计任务
#]^M/y
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(/t{z= KxfH6:\RB 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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S<&d#:" 扫描参数空间以获取初始解
yBv4 xKMH _eH@G(W(
3Gw*K-. Q^?$2ck= 初始解#1的参数优化
JxM32?Rm*w 'gsO}xj
A-$C6q -Q ];o~ 最终设计#1的性能分析
RL/5o" [DTe
1 7iw`@ tlI]);iE, 初始解#2的参数优化
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!L/.[:X A$;*O) 最终设计#1的性能分析
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e%0IEX KQ(S\ VirtualLab Fusion一瞥
f&&Ao x@>~&eP
@9k/od@mW m&s;zQ VirtualLab Fusion中的工作流程
qi8AK(v =2}bQW 构建
光栅结构
9R&.$5[W(s ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces +hlR ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media Q
H>g-@ 分析光栅
衍射效率
a^VI) ─
Grating Order Analyzer ;B:\e8 使用参数运算寻找初始解
7CX5pRNL ─
Usage of the Parameter Run Document =~dsIG 使用参数优化确定最终解
X-j<fX_ 7&V3f=aj6 VirtualLab Fusion技术
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