摘要
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< 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
7CfHL;+m<4 %T:~N<8) 设计任务
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QdaYP N?`-$C ] 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
fp^!?u )bc0 t]Fs 扫描参数空间以获取初始解
wOH$S=Ba5, 8BnI0l=\
rzC\8Dd #R&Dgt
初始解#1的参数优化
aa!o::; |G.|ocj;
\iFh-?( ;q:.&dak1 最终设计#1的性能分析
9I0}:J;7 bYT,f.,5{
0eQwi l@ Wi3:;`>G<p 初始解#2的参数优化
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| 1`1U'ibhe 最终设计#1的性能分析
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6C6<,c VirtualLab Fusion一瞥
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e 5hq>K D/1{v VirtualLab Fusion中的工作流程
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=ey?1S @ToY,@]e 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces gzS6{570 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media qx3@]9 分析光栅
衍射效率
Dh=?Hzw ─
Grating Order Analyzer -ea":}/ 使用参数运算寻找初始解
aw
z(W> ─
Usage of the Parameter Run Document ^8p=g-U\ 使用参数优化确定最终解
"M.\Z9BCt p8CDFLuV VirtualLab Fusion技术
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