摘要
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L)H'g w|!>>W6J 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
xzTTK+D@ A@-nn] 设计任务
#D~atgR E:/G!1
c'B6E1}sx |3`Sd;^; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Fw? ;Y% rt)70= 扫描参数空间以获取初始解
G,I[zhX\ ]o`qI#{R~R
sN0S~}F+ o"dX3jd 初始解#1的参数优化
f(~xdR))eh F`KA^ZI
b-R!oP+vP d1VNTB 最终设计#1的性能分析
+ptVAg+ #s'9Ydd
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T[*1*303 初始解#2的参数优化
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"\M16N bE:oF9J? 最终设计#1的性能分析
Q SPneYD 17g\XC@ Cl
I@IZ1
/J,r ;1PnbU b VirtualLab Fusion一瞥
`(s&H8x# $GhdH)
d\&{Ev9v 4TcKs}z VirtualLab Fusion中的工作流程
ZYDLl8 nI4Kuz`dF 构建
光栅结构
1FCqkwq[ ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 1%~yb Q ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ) *Mr{` 分析光栅
衍射效率
"]h4L ─
Grating Order Analyzer *ub]M3O 使用参数运算寻找初始解
m?cC 0(6 ─
Usage of the Parameter Run Document fa7Z=:aG 使用参数优化确定最终解
[@d$XC]Qz a9S0glbwf VirtualLab Fusion技术
Pf&\2_H3s9 |"h# Q[3