摘要
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`}[VwQ FPvuzBJ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
N&?T0Ge; g'KzdG`O0 设计任务
Akv(} !g aMBL1d7
_yiRh: ht2
f-EKf{ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
z~BD(FDI j.<:00< 扫描参数空间以获取初始解
$Z,i|K; ||yXp2
A<mj8qz U)u\1AV5 初始解#1的参数优化
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,2RC |h^O,
CEbzJ 最终设计#1的性能分析
umZlIH[7 SAd97A:
@c6"RHG9 P{"WlJ 初始解#2的参数优化
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kuWK/6l4 c:3@[nF~ 最终设计#1的性能分析
wy,Jw3 K~`n}_:
JX2mTQ \R6;Fef VirtualLab Fusion一瞥
4kWg>F3 cSY2#u|v
n33JTqX 8FB\0LA!g VirtualLab Fusion中的工作流程
kyy0&L [SCw<<l< 构建
光栅结构
_L?v6MTj ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces <I>%m, ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media `%FIgE^ 分析光栅
衍射效率
%T`4!:vy ─
Grating Order Analyzer ,:v.L}+Z 使用参数运算寻找初始解
0$n8b/%. ─
Usage of the Parameter Run Document cYZwWMzp 使用参数优化确定最终解
H @_eFlT t M,.b`1-w VirtualLab Fusion技术
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