摘要
0aq{Y7sYU 3N]ushMO
5xT, O E 9Kp=3H 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
`]]m$ %cs"PS 设计任务
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=H: N!!: k
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q v 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
;7[DFlS\P P:J|![ 扫描参数空间以获取初始解
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ZT"vVX-)G /0`Eux\ 初始解#1的参数优化
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"4KyJ;RA* UQ hD8Z'I. 最终设计#1的性能分析
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2./z6jXW_ XiV*d06{ 初始解#2的参数优化
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(g dzgLHy y)fz\wk 最终设计#1的性能分析
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{y|.y~vW z$Z%us>io VirtualLab Fusion一瞥
Z3<lJk\Y \{(cz/]G/
p]e.E`'S 7h.[eMLPB VirtualLab Fusion中的工作流程
mE+=H]`.p 3]\'Q} 构建
光栅结构
sj+ ) ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 3]NKAPY ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media SXXO# 分析光栅
衍射效率
)+)qFGVz ─
Grating Order Analyzer 0/fwAp 使用参数运算寻找初始解
.K_50%s ─
Usage of the Parameter Run Document wd,6/5=lh 使用参数优化确定最终解
ee<'j~{A O|v8.3[cT VirtualLab Fusion技术
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