摘要
XHU\;TF IR2=dQS
xU/7}='T LBxmozT 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
pfBe24q BLN|QaZ 设计任务
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cY5w,.Q/! GO?hB4 9T 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
7}:+Yx 3CzF@t;5 扫描参数空间以获取初始解
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VwudNjL #x qiGK 初始解#1的参数优化
[#=IKsO'R6 xa.tH)R
O8OAXRt/Y 9tX+n{i 最终设计#1的性能分析
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6hMKAk 2E8G5?qe) 初始解#2的参数优化
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Ol B9z o%bf7)~s 最终设计#1的性能分析
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HfZ ^ED"} QM![tZt%; VirtualLab Fusion一瞥
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m]vS"AdX Y[l<fbh(} VirtualLab Fusion中的工作流程
qu1+.z=| #dKy{Q3he 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ;yajt\a ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 43x2BW&& 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer _p>F43%p 使用参数运算寻找初始解
r<'DS9m ─
Usage of the Parameter Run Document )Gavjj&uJ 使用参数优化确定最终解
ufCpX>lNF J/fnSy VirtualLab Fusion技术
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