摘要
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I2%{6g@ L]kSj$A 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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:m1o ]gkI:scPA 设计任务
fT/;TK>z> k5=0L_xc
;-@^G
3C: WU{G_Fqaz 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
UL(R/yc N(]6pG= 扫描参数空间以获取初始解
6I72;e^! A%oHx|PD
P$Xig e!ar:>T 初始解#1的参数优化
r3/H_Z Tw`^
a~7`;Ar uOs
8|pj, 最终设计#1的性能分析
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JpD<2Mz_|V F%lP<4Vx 初始解#2的参数优化
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EP'2'51 !V$m!i; 最终设计#1的性能分析
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STL_#|[RM l^%Ez?-:s VirtualLab Fusion一瞥
( m\PcF 7z)Hq./3@
55Y BO$
/^i7^ VirtualLab Fusion中的工作流程
N{tNe-5 |jk"; h 构建
光栅结构
nxKV7d@R ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces {2}O\A ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media -k|r#^(G2 分析光栅
衍射效率
u8v;O}# ─
Grating Order Analyzer U{} bx 使用参数运算寻找初始解
PiMh]
0 ─
Usage of the Parameter Run Document BYyR-m 使用参数优化确定最终解
ib0M$Y1tIS =m:xf&r# VirtualLab Fusion技术
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