摘要
%b@>riR(y 4J94iI>S.l
78qf RM%lhDFY 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
5jx{O${u V&h,v%$ 设计任务
Axj<e!{D z_A%>E4
4.H!rkMM OjrQ[`(E 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
/*rMveT c{||l+B 扫描参数空间以获取初始解
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~;bwfp_ mz9Kwxe 初始解#1的参数优化
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LT'#0dCC IQ2<Pinv 最终设计#1的性能分析
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d{ OY &W.tjqmw 初始解#2的参数优化
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`I6)e{5t B: {bmvy 最终设计#1的性能分析
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r8Gq\ ^ ='soSnT VirtualLab Fusion一瞥
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60X B [0)iY%^ VirtualLab Fusion中的工作流程
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0~L(< 构建
光栅结构
Y;-" Z ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces RsTpjY*Xb ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ap;*qiNFQ 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer w
:^b3@gd 使用参数运算寻找初始解
G
V0q? ─
Usage of the Parameter Run Document L6l~!bEc 使用参数优化确定最终解
.0\Wu+ CgEeO,N]j VirtualLab Fusion技术
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