摘要
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wi.E$RckD +.^pAz U}R 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
7 u Q +]d GJE+sqMX1 设计任务
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:iE`=( o 1lA? 5: 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
L_:~{jV T:K}mLSg 扫描参数空间以获取初始解
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~^'t70 :D v5?)J91 初始解#1的参数优化
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,d.5K*?aI Ji=`XsV 最终设计#1的性能分析
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Oy 3z 初始解#2的参数优化
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;F%EW`7 '?NMQ 最终设计#1的性能分析
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Q=[ IO,f &"Cy&[ VirtualLab Fusion一瞥
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E"/k"1@ 3FO-9H VirtualLab Fusion中的工作流程
/yUKUXi pxyFM@Z]( 构建
光栅结构
Edcv>}PfE ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces w_QWTD0 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media j2:9ahW
分析光栅
衍射效率
v-!Spf ─
Grating Order Analyzer td$RDtW[3 使用参数运算寻找初始解
r@'~cF]m ─
Usage of the Parameter Run Document D6yE/QeK4 使用参数优化确定最终解
$kR%G{j 4 hQL@q7tUr VirtualLab Fusion技术
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