摘要
=q(;g]e Hinz6k6!
'lym^^MjL+ w#5^A(NR 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
M38QA x\Bl^1& 设计任务
d[5?P?h') ^{GnEqml&
8rXu^ @<tkwu 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Nj_h+=UE! z17x%jXy 扫描参数空间以获取初始解
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G:QaWqUb 9air"4 初始解#1的参数优化
R*D0A@ @O/-~,E68
! 3O#'CV u+GtH;<; 最终设计#1的性能分析
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u|.L73<j% %B$~yx3# 初始解#2的参数优化
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vcnUb$% e`fN+ 最终设计#1的性能分析
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WUSkN;idVG `g&<7~\=A VirtualLab Fusion一瞥
A=/|f$s+ *4;MO2g
p`)( V^WR(Q} VirtualLab Fusion中的工作流程
B(x i
C d)j% 构建
光栅结构
xioL6^(Qk, ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces :4PK4D s7 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media j()<.h;' 分析光栅
衍射效率
't:|>;Wx ─
Grating Order Analyzer 9pD=E>4?# 使用参数运算寻找初始解
445}Yw5;9 ─
Usage of the Parameter Run Document FWv-_ 使用参数优化确定最终解
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B VirtualLab Fusion技术
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