摘要
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e%.Xya#\ \l)<NZ\ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
R+,eX jz" G&8)5d[ 设计任务
5=]q+&y\H lYEMrr!KQw
g_ 'F(An Teq1VK3Hr 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
4pNIsjl} 3>LyEXOW 扫描参数空间以获取初始解
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P5
fp!YF v[4A_WjT 初始解#1的参数优化
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m]LR4V6k| TTB1}j+V6 最终设计#1的性能分析
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lFvRXV^+f 7g@P$e] 初始解#2的参数优化
}2dz];bR pe(31%(h
s>y=-7:N 15PFnk6E| 最终设计#1的性能分析
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[X>\!mt 9v[cy` \ VirtualLab Fusion一瞥
N$u;Q(^ 0V{a{>+
Y4E UW% a3}#lY): VirtualLab Fusion中的工作流程
QUa_gYp0v )nJo\HFXv 构建
光栅结构
:0K[fBa ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces *5KV DOd
─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media s-^B)0T! 分析光栅
衍射效率
HzADz%~ ─
Grating Order Analyzer mDJF5I 使用参数运算寻找初始解
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Usage of the Parameter Run Document ^(,qkq'u
D 使用参数优化确定最终解
'EF\=o)^Y s"1:#.u VirtualLab Fusion技术
2Eq?^ )s w.s-T.5.j