摘要
LPEjRG, hlAR[ ]
`pP9z;/Xq abM84EU 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
|7rR99 3C277nx 设计任务
6RK ~Dl&g VDB$"T9#
wXc,F D$ f!5F]qP>- 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Dz[566UD ' 2>l 扫描参数空间以获取初始解
-1Djo:y |'ZN!2u
B }6Kd pG0!ALT 初始解#1的参数优化
j.k@6[R>? /VRUz++K
CfQf7- }C=Quy%Z< 最终设计#1的性能分析
'eqiYY| ,+~2&>wj
'b8R#R\P aQ&uC )w 初始解#2的参数优化
|kId8WtA 3"5.eZSOW
f.@Xjf h]qT1(I 最终设计#1的性能分析
'KSa8;:=C LRWOBD
,,S9$@R }.'Z=yy VirtualLab Fusion一瞥
Zotz?jVVr ?p(kh^ z
Z,3 CC \ f7Yz>To VirtualLab Fusion中的工作流程
-<6v:Z !&W|myN^ 构建
光栅结构
A
6 :Q< ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces >b'w'" ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media F@9Y\. , 分析光栅
衍射效率
o"RJ.w:dn ─
Grating Order Analyzer G=1m]>I8 使用参数运算寻找初始解
26M~<Ic ─
Usage of the Parameter Run Document <_t5:3HL 使用参数优化确定最终解
J=):+F= (s088O VirtualLab Fusion技术
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