摘要
7:e{;iG \wmN
}czrj%6 XjB W9a 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
gZVc 5u< \a<wKTkn 设计任务
s$IDLs,WM RCJ|P~*
UklUw )J=! L\ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
\-E^lIVF >:SHV W 扫描参数空间以获取初始解
J@`1TU 7o\@>rNWP
NCveSP `4r 3l S 初始解#1的参数优化
ip\sXVR 53_Hl]#qZ
~"gA,e-) JhYe6y[q 最终设计#1的性能分析
`Uq#W+r, `&qL(66
-au^;CM eNh39er 初始解#2的参数优化
bt SRtf 'I|v[G$l
_r#Z}HK _!#@@O0p/h 最终设计#1的性能分析
'JtBZFq #Bze,?@
_=r6=. e
v}S+!|U VirtualLab Fusion一瞥
hXw]K" SZ7:u895E
A.F%Ycq '$Dn VirtualLab Fusion中的工作流程
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mntp yNBQGSH 构建
光栅结构
PxX4[ P ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 2F;y;l% ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media q~Hn-5H4Q 分析光栅
衍射效率
4IK( 7 ─
Grating Order Analyzer O;Rqv 使用参数运算寻找初始解
!"e5h`/ADM ─
Usage of the Parameter Run Document Ng&%o 使用参数优化确定最终解
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l0Jw VirtualLab Fusion技术
eSn+ B;
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