摘要
EQ"_kJ>81Y MS2/<LD3d
U4a8z<l$ >f9Q&c$R 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
=.J>'9 Q Grw[h 设计任务
WSF$xC/~ W#d'SL#5
}#g &l*P +yr~UP_
} 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
cWQ &zc (.z0.0W 扫描参数空间以获取初始解
-NzOX"V]3 vGH]7jht
4ke.p<dG mWoN\Rwj 初始解#1的参数优化
BVv-1$ U^ ^eV K.
5^qs>k[mN M_?B*QZJI 最终设计#1的性能分析
f/kYm\Zc &RS)U72
u3 +]3!BQ HA$7Q~{N-t 初始解#2的参数优化
otdv;xI9 GAR6nJCz
: @gW3' q|lP?-j 最终设计#1的性能分析
ls "Z4v(L6 +5GC?cW
4dz Ym+vJm ;8]Hw a1! VirtualLab Fusion一瞥
] RVme^= {j[*:l0Ui
DM,;W`|6% K(NP%: VirtualLab Fusion中的工作流程
|jWA >S m KKa0" 构建
光栅结构
|f}`uF ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces >
JTf0/ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media {Z$]Rj 分析光栅
衍射效率
>G0ihhVt ─
Grating Order Analyzer ~vZ1.y4 使用参数运算寻找初始解
~ayU\4B ─
Usage of the Parameter Run Document Ej@N}r>X 使用参数优化确定最终解
.?F`H[^)^u dKPx3Y' VirtualLab Fusion技术
3\B~`=*q/ *:chN' <