摘要
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6m*QX+ >JHryS.j$4 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
%9KldcQ}~ c}lb%^;)E 设计任务
+"\sc;6m. nv*FT
BKCA< 36}?dRw#p 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
}7|1 )B"jF>9)[ 扫描参数空间以获取初始解
Z]>O+ q/4J.jL
(y=C_wvqZ }aa'\8 初始解#1的参数优化
u^@f&BIG]:
_C%3h5
:;t:H]
f "jeb%k 最终设计#1的性能分析
:3v}kLO7| Yg]-wQrH
tU }h~&M w1Nm&}V 初始解#2的参数优化
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.F4>p=r Ec3}_` 最终设计#1的性能分析
}"nItcp.1 CpUkCgg
$O&b`` $Xv* ,Bq VirtualLab Fusion一瞥
sXLq*b? B nFwlw
CKYc\<zR0l {2O1"|s , VirtualLab Fusion中的工作流程
zGb|) A~, MK%9:wZ 构建
光栅结构
RuLi,'u ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 1!xQ=DU" ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media e>} s;H, 分析光栅
衍射效率
"Gsc;X'id ─
Grating Order Analyzer (yH'{6g\ 使用参数运算寻找初始解
;km`P|<U ─
Usage of the Parameter Run Document j$M h+5 使用参数优化确定最终解
%0S3V[4I &jS>UsGh VirtualLab Fusion技术
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