摘要
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(gcy3BX; ke/4l?zs 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
mU||(;I Sb)} 设计任务
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-h8Z@r~a/ u`!Dp$P 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
!)}z{,Jx ,eqRI>,\ 扫描参数空间以获取初始解
c+whpQ=01 {!.w}
KXWz(L!1 TKEcbGhy 初始解#1的参数优化
n2[h`zm1{B sULsU t#
gh^w
!tH3 <l+hcYam 最终设计#1的性能分析
0B~x8f AB<bW3qf(
e?]HNy xz+;1JAL3 初始解#2的参数优化
?PV@WrU>B BcQw-<veu
mFd|JbW L,,*8 最终设计#1的性能分析
7WmY:g#s rQTG-& ,
lf R}cx Pt6d5EIG VirtualLab Fusion一瞥
eqWs(` @TzUcE
/}CAd s)sT\crP@ VirtualLab Fusion中的工作流程
[V5,1dmkI '3E25BsL 构建
光栅结构
$lUz!mjG ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 9wdX#=I ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media lJS3*x#H 分析光栅
衍射效率
a% /x ─
Grating Order Analyzer *WWDwY@!u 使用参数运算寻找初始解
G('UF1F ─
Usage of the Parameter Run Document Q7mikg=1- 使用参数优化确定最终解
Q}g"pl G=kW4rAk VirtualLab Fusion技术
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