摘要
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?2~fvMWu 2XeyNX 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
{\0V$#q 4jTO:aPh_ 设计任务
W-#DEU 7_ ;#9?3Os
[O&}Qk Bt}90# 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
S9}I oj Y.6w 扫描参数空间以获取初始解
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k &J;,)V e(
@</W 初始解#1的参数优化
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Y=G`~2Pr= upaP,ik}~ 最终设计#1的性能分析
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C/Z#NP~ * *`u|1}h| 初始解#2的参数优化
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Cu 最终设计#1的性能分析
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U?f-/@fc \)t//0 VirtualLab Fusion一瞥
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J(d+EjC tmS2%1o VirtualLab Fusion中的工作流程
mwLf)xt0' Sxc)~y 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces (BP p2^ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ;a1DIUm' 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer 8j70X <R 使用参数运算寻找初始解
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Usage of the Parameter Run Document ;.sYE/ZVi 使用参数优化确定最终解
iE"]S ) h'&<A_C-7 VirtualLab Fusion技术
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