摘要
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bu.36\78 'coqm8V[% 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
! 9e>J tv0xfAV 设计任务
I6\3wU~). ]kPco4
3O.-'U1K ;WhB2/5v 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
?OSd8E+itM \yqiv"' 扫描参数空间以获取初始解
-}(W=r\ r{btBv
{MS&t09Wh 5^xt/vYa) 初始解#1的参数优化
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!"kvXxp^ (#:Si~3 最终设计#1的性能分析
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e#seqx ^Iz.O 初始解#2的参数优化
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8c~H![2u o^ 4+eE VirtualLab Fusion一瞥
M]W4S4&Y= &`9lIVB,K
M_e!s}F 1v Thb VirtualLab Fusion中的工作流程
X>CYKRtb OJ 2M_q)e 构建
光栅结构
WRgz]=W3w ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces }N[sydL ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media {hl_/
aG 分析光栅
衍射效率
r}991O< ─
Grating Order Analyzer ex['{|a{ 使用参数运算寻找初始解
RsbrD8*AD ─
Usage of the Parameter Run Document L+u_153 使用参数优化确定最终解
pSAXp#g O~D}&M@/R VirtualLab Fusion技术
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