摘要
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Ug0c0z!b b[:m[^ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
cg]Gt1SU {=d}04i)E" 设计任务
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WZ!zUUp}V hop|
xtai; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
+]wM$bP jFKp~`/# 扫描参数空间以获取初始解
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cotySio$ Bnwq!i!M 初始解#1的参数优化
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RiQg]3oY nW\W<[O9 最终设计#1的性能分析
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v/~&n 'ks .TS& 初始解#2的参数优化
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.X.6<@$ }C["'tLX 最终设计#1的性能分析
}z9v*C hRB?NM
?A .ah z"QtP[_m VirtualLab Fusion一瞥
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Jwj=a1I 53 mv,a>Cvs[ VirtualLab Fusion中的工作流程
up8d3 pH3\X
cn 构建
光栅结构
aYc<C$:NC" ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces hHDLrr ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media a!u5}[{ 分析光栅
衍射效率
,|zzq@fk ─
Grating Order Analyzer hG<[F@d 使用参数运算寻找初始解
/ET+`=n ─
Usage of the Parameter Run Document ;;CNr_ 使用参数优化确定最终解
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#- VirtualLab Fusion技术
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