摘要
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7)6Yfa]I% O]r3?= 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
S&))
0d ;
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6Fe) 设计任务
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c,
QmkC~kK1. ~RLx; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
K7R])*B.~ oTV8rG 扫描参数空间以获取初始解
X!A]V:8dk SAo\H
Wj{Rp{}3 He_(JXTP 初始解#1的参数优化
vaCdfO& ~FCSq:_
"i<3}6/* AqKx3p6 最终设计#1的性能分析
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z hm!sMlO 6UAxl3-\ 初始解#2的参数优化
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2WECQl=r 最终设计#1的性能分析
f]6`GsE ]!J3?G
<GmrKdM WUK.>eM0 VirtualLab Fusion一瞥
<Ibr.L] > FcA,
7LZb*+> PdN\0B` VirtualLab Fusion中的工作流程
"91Atb;hJ h/bYtE 构建
光栅结构
?9okjLp1n ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces f(MHU ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media eHyuO)(xH1 分析光栅
衍射效率
T2PFE4+Dp ─
Grating Order Analyzer 3R[J,go 使用参数运算寻找初始解
e^Wv*OD' ─
Usage of the Parameter Run Document 6{r[ Dq 使用参数优化确定最终解
w,#W&>+& Ty|c@X VirtualLab Fusion技术
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