摘要
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lk=[Xo
b27t-p8 mqY=N~/O 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
%UG|R: =>O{hT^F 设计任务
gm1RQ^n,@. dki3(
kZfj"+p_S &M=15 uCK 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
4Vd[cRh2 HaR x(p0 扫描参数空间以获取初始解
.g.glQ_~= \vuWypo
Gc;-zq BG6Lky/omz 初始解#1的参数优化
-WGlOpg0; M"$g*j
iaQFVROu 2/x~w~3U 最终设计#1的性能分析
Wxi;Tq9C@_ HaF&ooI5+
(.b!kfC 0QEcJ]Qb8 初始解#2的参数优化
yP34h*0B :\%hv>}|
$-(lp0\*
YI]/gWeu 最终设计#1的性能分析
'G`xD3 E3, Q_*.1L
_Ecs{'k _6]tbni?v VirtualLab Fusion一瞥
ZR8y9mx2" ]UZP dw1D
f+Fzpd?w S aLwEz}-
VirtualLab Fusion中的工作流程
6HH:K0j3' M -8d*#_P 构建
光栅结构
{<cgeH ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces P75@Yu( ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media %-|$7?~ 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer C k/DV 使用参数运算寻找初始解
'a~F'FN$ ─
Usage of the Parameter Run Document n+s=u$%qn 使用参数优化确定最终解
C]3^:b+ 6~6 vwp VirtualLab Fusion技术
C @P$RVS hl8oE5MU