摘要
_6-N+FI lofP$
$bl<mG%#9 Mh]4K"cs 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
'0v]?mM $kc cM&B 设计任务
zMh`Uqid |f1RhB
Yf_/c*t\5 ,*8)aZ1k 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
UJ><B" |k#EYf#Y 扫描参数空间以获取初始解
#J^ >7v |?
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\%_sL#? hISYtNWjd" 初始解#1的参数优化
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s9SUj^ +V;d^&S 最终设计#1的性能分析
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Vi#[kn' 6Ev+!!znu 初始解#2的参数优化
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9M-W 1prb -Gjz+cRns 最终设计#1的性能分析
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MAQ-'s@ -@Z9h)G| VirtualLab Fusion一瞥
k ~4o`eA h+w1 D} *
f8-~&N/_R DABV}@ K" VirtualLab Fusion中的工作流程
n[\L6} P MI?PC[; 构建
光栅结构
i!eY"|o ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces #Q BW%L ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 'sTc=*p/ 分析光栅
衍射效率
xl Q]"sm1 ─
Grating Order Analyzer @u`m6``T 使用参数运算寻找初始解
1Se2@WR' ─
Usage of the Parameter Run Document iLN O}EUL 使用参数优化确定最终解
r@PVSH/ _o&NbDH VirtualLab Fusion技术
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