摘要
<4D.H 4So
,m0v
G"F:68 _F tI2G9 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
=~'{2gsB
7D\:i1~ 设计任务
YiTVy/ n~?n+\.&a
~)]R ,qK3
3Bn 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
=g$>]AE URDXyAt 扫描参数空间以获取初始解
>
ZKHjw }\hz@G<
fwz-)?
YG#.L}X@C 初始解#1的参数优化
9wpV} .( W$Op/
75*q^ui QK(w2` 最终设计#1的性能分析
Ec l/2 \EQCR[7qu7
Y]:Ch (Q ;.&k zzvJ 初始解#2的参数优化
EOzw&M];r 6"u"B-cz
.dTXC' |,WP) 最终设计#1的性能分析
0E/,l``p +`'>
"|<U`3y6 i
3i VirtualLab Fusion一瞥
zF#:Uc`C5U 2rG$.cGN"
Q;0g fW3NH7aUG VirtualLab Fusion中的工作流程
@Avve8S P8n |MN 构建
光栅结构
KU*XRZu) ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces bDT@E,cSi ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media o' Kl+gw4 分析光栅
衍射效率
4s7&*dJ ─
Grating Order Analyzer 7~m[:Eg6[s 使用参数运算寻找初始解
#B!<gA$/ ─
Usage of the Parameter Run Document `tEW.s%Y(6 使用参数优化确定最终解
4)NbQ[ 8Ao pI3 VirtualLab Fusion技术
_tR?WmNH= V[ 'lB.&t