摘要
"(uEcS2< S ^?&a5{o
nu{bEp Pdc- 3 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
qRMH[F$` @D!KFJ 设计任务
&8R %W"<K \29a@ 6
,nqG*
o "]}+QK_ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
M6E.!Cs YYFJJ,7? 扫描参数空间以获取初始解
|A_yr/f %k8} IBL
uJ<sa; =4z:Df 初始解#1的参数优化
73?ZB+\)0A S$q:hXZ#e
$QQv$ 4&IBNc,sn 最终设计#1的性能分析
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|t^7L )&y " &B/v"nj 初始解#2的参数优化
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0 r=:l/Pz >jjuWO3T 最终设计#1的性能分析
f $MVgX K29]B~0%E
Ob+L|FbnN `X8AM= VirtualLab Fusion一瞥
RG=!,#X 8M m,a
lgTavs B@ZedXi VirtualLab Fusion中的工作流程
ai% fj* "J(#|v0 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces :.B};;N ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media wXf_2qB9 分析光栅
衍射效率
4CO:*qG)o ─
Grating Order Analyzer yu~~"Rq) 使用参数运算寻找初始解
E 5PefD\m ─
Usage of the Parameter Run Document ]Lq9Ompf(t 使用参数优化确定最终解
V2kNJwwk _|.q?;C]$ VirtualLab Fusion技术
(v*$ExF IH?.s
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