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摘要 tpa<)\7KJ y" |gC!V} 干涉测量是一种光学计量的重要技术。 它被广泛应用于表面轮廓,缺陷,机械和高精度热变形等领域的测量。 作为一个典型的例程,在非序列场追迹的帮助下,我们在VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-曾德尔干涉仪,本案例清楚地展示了光学元件的倾斜和移位对干涉条纹图案的影响。 3TRG] 5 bZ#5\L2 建模任务 VsDY,=Ww 3i#'osq +q%b'!&Q 元件倾斜引起的干涉条纹 92ngSaNC @V Sr'?7- k#-%u,t 元件移位引起的干涉条纹 G1Vn[[%k k3T374t1b
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