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摘 要 N67m=wRx R#0UwRjeF 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 %EuSP0 =#W6+=YN8 建模任务 FGC[yz1g: ){v nmJJ%
n'SnqJ&} x`4">:IA 倾斜平面下的观测条纹 RW'QU`N[Y qg_=5s
%NvY~, #(%6urd 圆柱面下的观测条纹 J(0c#}d .k}h'nE
B{44|aq1 | |g~.]2az 球面下的观测条纹 dI`b AP;\ r'&VH]m 8{AzB8xp N*eZ4s' VirtualLab Fusion 视窗 ~MOIrF HM`;%0T0( /0A}N$?>: tlj^0 VirtualLab Fusion 流程 b YiaJ zFlW\wc
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