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摘 要 ve"tbNL x8c>2w;6x^ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 K[?@nl?,z YnU*MC} 建模任务 9Y:.v@:}0 Gh6U<;V?*
X]2x0 sEKF 倾斜平面下的观测条纹 rmC7!^/ xEq? [M
,dosF Q Z6- 圆柱面下的观测条纹 ,*\s "9X!Ewm"P
NBBR>3nt (+xT5 2 球面下的观测条纹 RZVZ#q(DU y"8,j m `WMU'ezF n``9H91 VirtualLab Fusion 视窗 I!(BwYd SY:ISzB} ]
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