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摘 要 VFZyWX@#u t*Ro2QZ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 Jgr;'U$ 'qiAmaX 建模任务 i03S9J um$U3'0e
1t/c@YUTy L''VBY"? 倾斜平面下的观测条纹 8g{Mv#b% cu5}(
']2d^'TH *^] 圆柱面下的观测条纹 3v3cK1K@oE Y{e,I-"{
kb~
s,@p 9HN&M*} 球面下的观测条纹 2l V`UIa @+M1M2@Xz ]6v7iuvI :n~Mg{j3 VirtualLab Fusion 视窗 DC>?e[oOz I&15[:b=- /o$6"~t 8Wtr,%82 VirtualLab Fusion 流程 /J-.K*xKt +ah4 K(+3
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