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摘 要 kwMuL>5 *;Dd:D9 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 )W:`Q&/G kCL)F\v"iT 建模任务 [5:,+i &1%W-&bc6
6%JKY+n^ f*Xonb 倾斜平面下的观测条纹 [^A.$, {0q;:7Bt
=2s5>Oz+ 1B+MCt4 圆柱面下的观测条纹 bENfEOf, NO P~?p
M-K<w(,X \OHsCG27 球面下的观测条纹 PYkcGtVa_ ] ^tor +)^F9LPl >1`FRw< VirtualLab Fusion 视窗 ;y%l OYm [Oxmg?W 9.qI hg C.C)&&|X VirtualLab Fusion 流程 `FHHh MxuwEV|^
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