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摘 要 yf8UfB#a 5m bs0GL 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 zHU#Jjc_b /9yiMmr5W 建模任务 UMX+h])#N q#778
tFSdi.|G= zk/!#5JtK 倾斜平面下的观测条纹 U'lD|R,g p/5!a~1'xN
B>]5/!_4 I{AU, 圆柱面下的观测条纹 ps[6)d)o M!hby31
ljis3{kn"" C[KU~@ 球面下的观测条纹 2lSM`cw sogbD9Jc #wd \& B~aOs>1
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