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摘 要 s,Swlo7D! A=K1T]o 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 ~'3% Qr `2PT 8UM 建模任务 gISs+g ~}w 8UO
n&]w* (, [_d*J/ X 倾斜平面下的观测条纹 %u}sVRJ C)w*aU,(
$b} +5 &UR/Txnu 圆柱面下的观测条纹 1*h7L<#|mQ k:Q<Uanc[
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4*MwK 球面下的观测条纹 F S:WbFmc 3iw9jhK!W #EUgb7 :(Bi{cw VirtualLab Fusion 视窗 z7C1&bGe )v~]lk,o 5b p"dIe V-jL`(JF% VirtualLab Fusion 流程 @g~sgE}# E6M: ^p*<
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