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摘 要 -Q@d ^0&] .m 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 MYPcH\K$h GMNb;D(>K 建模任务 e)xWQ=,C bpx=&74,6m
j<KC$[Kt <^\r9Qxl 倾斜平面下的观测条纹 L%0lX$2&\ iN*>Z(b"
&wuV}S7 )q^vitkjup 圆柱面下的观测条纹 VM,ZEt3Vy YXtGuO\q
Ueeay^zN N 93E;B 球面下的观测条纹 ?>y-5B[K/( V~_nyjrJM DPwSg\*) SRTpE, VirtualLab Fusion 视窗 6a?y$+pr K_5&_P1 ;Wa{q.) `Ek !;u> VirtualLab Fusion 流程 c6HU'%v ptR
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