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摘 要 PY`L$e }s_hD`' 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 D'b#,a;V $d/&k` 建模任务 */z??fI27 N2ied^* 0
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#DFV=:|~ 倾斜平面下的观测条纹 :=Kx/E:1 ujr(K=E
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M6rc!K ~6aCfbu%V 球面下的观测条纹 D\1k.tI \(
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