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摘 要 P?3{z="LzJ /b.oEGqZX 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 %TK&)Q% h5 =V^@%YIn 建模任务 s=EiH hE!7RM+Y
?(im+2 5 z]\$=TE 倾斜平面下的观测条纹 [l[{6ZXt wTpD1"_R
N5q725zJ X_70]^XL 圆柱面下的观测条纹 ,{j4 "jZm0U$,*
u+% tPe c#q"\" 球面下的观测条纹 <FmBa4ONU DA
LQ<iF d]M[C[TOX FWTx&Ip VirtualLab Fusion 视窗 If}lJ6jZ '>^Xqn 3B,QJ& &jJckT VirtualLab Fusion 流程 u3wL<$2[8 pVOI5>f\
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