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摘 要 %_u3Np 7OZs~6( 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 oYF8:PYB -{w&ya4X 建模任务 Gg&jb= @-m&X2J+c
=y4g. J\ 5GY%ZRHh 倾斜平面下的观测条纹 lH6t d JvUKfsn u{
h{! @^Q X=JSqO6V9 圆柱面下的观测条纹 R_*\?^k|A wF%XM_M
zso.?`85 ?T^$,1- 球面下的观测条纹 S:5Nh^K dv,8iOL "qF&%r' eL(T VirtualLab Fusion 视窗 [qy@g5` '*T7tl RFZrcM 1jV^\x0 VirtualLab Fusion 流程 8Yj(/S3y 2M;{|U
j{HxX ja:%j&: VirtualLab Fusion 技术 o~}q@]] MAR;k?d
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