摘要 _+.JTk Y?3f
Fg mV^~ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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Ob c]n"1YNm 任务 74 &q2g{ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
!ewT#afyu( • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
J;=T"C& txvo7?Y*4 hI 9q);g 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 5YneoM]Q 连接建模技术：衍射光束分束器 #; f50j!r 
B$n 1 k 45 ：
tbWf m5 $ • 相位函数设计
YM};85 K • 结构设计
* k<@ • TEA 评估
hf^<lJh~= • FMM 评估
!sSq 4K • 高度缩放检查（用于优化/容限）
IrMB=pWo r fzNw 仅相位传输设计 z DU=2c4W9 9Msy=qvYG :W5W
@8Y 结构设计 9 }u,` & FJ-H
; &w#! 使用TEA进行性能评估 Fs]. Fa "VZXi_P E5$]0#jB 使用FMM进行性能评估 Xl$, f`f~ jj1\oyQ8 A4'5cR9T! 进一步的分析（优化后，容差分析） 5nUJ9sqA 
p F4Z4?W
