摘要 B B 1'B-O Z =L' [6 :2
n5;fp 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
_r+9S.z i/, G= yA 任务 YL;ZZ2A • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
a+{YTR>0m • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
;KbnaUAS8 qWy{{ A+ ~lzV=c$t 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 k(3 s^B 连接建模技术：衍射光束分束器 bsR^H5O@ 
' B8fc-n ：
"@$o'rfT • 相位函数设计
>Cb% `pe • 结构设计
W a2V Z • TEA 评估
)fA9,yNJ3 • FMM 评估
R
7xV{o • 高度缩放检查（用于优化/容限）
OJbY \U f dck/|`t 仅相位传输设计 P+%O]v1 Ob WN?!(r<qA_ nm*1JA.: 结构设计 v )%EG @H]g_yw [: RRV@nDf 使用TEA进行性能评估 jQ%}e" fx99@%Ii $O%lYQY] 使用FMM进行性能评估 FOquQr1cF @ns2$(wkm@ zOg#= ql 进一步的分析（优化后，容差分析） oT\B-lx 
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