摘要 ]h`E4B 3n=O8Fp k(w9vt0? 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
7lBQd ( `G:qtHn"Q< 任务 Fg}5V, • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Td=] tVM • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
6:7:NI l: n"Z,-./m nd*!`P 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 [W7\c;Do 连接建模技术：衍射光束分束器 o<eW g 
E l 8.D3 ：
OM&\Mo • 相位函数设计
vp}># & • 结构设计
]ge^J3az$u • TEA 评估
1k70>RQ&69 • FMM 评估
Dg2#Gv0B • 高度缩放检查（用于优化/容限）
AFF>r#e }A&Xxh!Fwo 仅相位传输设计 CSg5i&A= =dw *B ,-NLUS
"w 结构设计 RSVN(-wIi) _xZb;PbFE ~.y4
,- 使用TEA进行性能评估 sp]y! zb"5 68G] a N3 a(t <eN>b! 使用FMM进行性能评估 sMpC4E .$E~.6J %i |$*9j" "u 进一步的分析（优化后，容差分析） p]IhQnj2 
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