摘要 ^7M hnA Ay)q %:qx D`p&`]k3v 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
io :g ]g 7jvy]5y8&~ 任务 N<lejZ}!q • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
d v=y,q@W • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
j,%@ %upM 3 i<,#FaL ^kZfE"iE2 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 3ThBy' 连接建模技术：衍射光束分束器 Y.`
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HUqG)t*c1 ：
iku8T*&uc • 相位函数设计
whb |N2 • 结构设计
6OYXcPW' • TEA 评估
o(xRq;i • FMM 评估
_\E{T5 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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9 o 仅相位传输设计 ?DcR D)X w:Ui_-4*> 1-Fg_G}|6 结构设计 \ )'nxFKqV RZ)sCR O+;0|4V% 使用TEA进行性能评估 %M8Egr 2|0 `abQlBb* H
<CsB 使用FMM进行性能评估 *]2LN$ KDwz!:ye \8\)5#? 进一步的分析（优化后，容差分析） -_=0PW5{ 
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