摘要 .*.eY?,V HIC ! :| 25@@-2h @ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Bvh{|tP4 [9#zE URS 任务 _aJKt3GQ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
\<G"9w • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
}d;6.~Gw Xil ;`8h >7S@3,C3ke 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 O} p<"3Ub 连接建模技术：衍射光束分束器 LIQ].VxIs 
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n${k^e -= • 相位函数设计
g|7o1{ • 结构设计
r\Kcg~D> • TEA 评估
sowwXrECg@ • FMM 评估
SW'e TG • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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+l] 仅相位传输设计 2CneRKQy 7')W+`o8eL <c:H u{D 结构设计 !2Z" Lm =WBfaxL} ( }Bb=~ 使用TEA进行性能评估 /> /e Gn_DIFa z ynu0X 使用FMM进行性能评估 &>E gKL 6Io}3}3 # 8yo9g6 进一步的分析（优化后，容差分析） lG%697P 
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