摘要 lRv eHB&V 8P"_# M?! aM {xdTYaU 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
P0$e~=Q^4 PI*82,f3dE 任务 [p2H= • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
\4AM*lZ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
gl]E_%tH aDehqP6vf uio@r^Xz 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 9
Rx
s 连接建模技术：衍射光束分束器 a&k _=/X& 
l27\diKPJ ：
c 5Q<$86 • 相位函数设计
'oN\hy($,h • 结构设计
!gLkJ) • TEA 评估
DaH?@Q • FMM 评估
NWd<+-pC6 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
?X-)J=XG 2jbIW* 仅相位传输设计 .>(Q)"v X{^}\,cVtG !J =sk4T 结构设计 c,Euv>*` zvvP81$W >I<r)w] 使用TEA进行性能评估 tV9L D>3 Z--@.IYoJ }@ +NN
?P 使用FMM进行性能评估 # XnPsU<J N-g8 }03 l_j4DQBRV 进一步的分析（优化后，容差分析） X]loJoM9 
QW_agm
