[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 4udj"-V  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 8?YeaMIBB  
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任务 :g^ mg-8  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 BHZhdm@),  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 +"=yd
F.9  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 u*,>
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连接建模技术：衍射光束分束器 $&KkZ  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 .uxM&|0H  
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将传输函数转化为结构 >TBXT+  
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衍射光束分束器表面 P?P.QK  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM 8"ZS|^#  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 nb<oo:^  
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设计与评估结果： eNVuw:Q+  
• 相位函数设计 !U1 vW}H  
• 结构设计 pi/0~ke4"  
• TEA 评估 G :k'm^k  
• FMM 评估 1;V_E2?V  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） " r o'?  
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仅相位传输设计 >][D"  
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结构设计 9!W$S[ABRB  
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使用TEA进行性能评估 WulyMcJ  
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使用FMM进行性能评估 .SER,],P  
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进一步的分析（优化后，容差分析） [YHtBM:y  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 VwPoQ9pIS  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 AD?XJ3  
jHn7H)F8  
$/IFSB9  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 tkr&Fs"t+