摘要 j@kL`Q\&I Uoskfm g/)$-Z)Nu 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
HT]v S}s M*DF tp< 任务 xwjim7# _: • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
k,EI+lC X • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
<@ B zF0 'Zq$ W ]i l!n<.tQW 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 #q;hX;Va 连接建模技术：衍射光束分束器 ep"YGx[V 
8q)wT0A~ ：
6 E9y[ %+ • 相位函数设计
GCxtW FXH • 结构设计
IAr • TEA 评估
jL$&]sQ`O) • FMM 评估
E"j u<q/Q • 高度缩放检查（用于优化/容限）
:n3)vK +39Vxe:Oy 仅相位传输设计 B]PTe~n^ `={s*^Ta ?[4!2T,Ca 结构设计 B,sv! p+q5 +ahr-v^R< 7wt2 |$Qz 使用TEA进行性能评估 \V@Hf"=j Luxo,Ve 9N9dQ}[:g 使用FMM进行性能评估 \NYtxGV[Z qp(F}@ ALw5M'6q0\ 进一步的分析（优化后，容差分析） [\o+I:,}wi 
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