摘要 s5RjIa 0$7 g8!wb{8?s *lef=:&,, 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
=9kN_:- izKfU?2]X@ 任务
)>D+x5o] • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
b 1&i# I?{ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
`@i5i(( vP7K9K x tO_H!kP 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 }HE6aF62O 连接建模技术：衍射光束分束器 :'aAZegQY 
j)t+jcMUI ：
2 MA]j T • 相位函数设计
Tz2-Bp]h • 结构设计
Rl| 4S[ • TEA 评估
6h3HDFS7s • FMM 评估
g'];Estb~ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
_Lw OOZj (Qgd e6 仅相位传输设计 T5Dw0Y6u, iCP/P% =h(W4scgqX 结构设计 IlX$YOf4 r%DFv e :% Z ,^9 Z 使用TEA进行性能评估 ?^:h\C^a" K^r)CCO M4ozTp<$O 使用FMM进行性能评估 ?S?2 0 Wl h~) :Q+5,v-c 进一步的分析（优化后，容差分析） Ifk# /d 
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