摘要 C6CX{IA] aztP`S$h Wky~ hm 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Af
^ 6 {Am\%v\ 任务 JB''Ujyi • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
^fXNeBj • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
v?n`kw _(J- MCY\ M+)%gnq`u 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 +5? s Yp\ 连接建模技术：衍射光束分束器 ?2_ u/ x 
0!_D M^3 ：
0 6 K8|K • 相位函数设计
3`IDm5 • 结构设计
ZRD* ^9) • TEA 评估
A$Es(<'9g • FMM 评估
u0w2v+ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
H<X4R hLYSYMUb 仅相位传输设计 ^ylJ_lN&=1 S;i^ucAF XrFyN(p 结构设计 V:Q fI [)Xu60? Q 8[(c'rl|)| 使用TEA进行性能评估 xm/v :hl= 2s?j5 Sd K]N ^6ome 使用FMM进行性能评估 hSp[BsF`, Dn<2.!ZKQ " *kWM 进一步的分析（优化后，容差分析） |KplbU0iC 
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