摘要 `'_m\uo gieJ}Bv L *[K>iW 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
c8 K3 .&P6 ?ne_m:J[ 任务 Eu<1Bs e; • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
he3SR @\T • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
>n 5:1.g
Y]aW)u $.St ej1 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 bucR">_p 连接建模技术：衍射光束分束器 @{
;X Zb^ 
AF\T\mtvRm ：
De
*7OC • 相位函数设计
}$su4A@0 • 结构设计
2+ 8# H. • TEA 评估
0O!cN_l| • FMM 评估
yTM{|D]$( • 高度缩放检查（用于优化/容限）
FXKF\1`( H ~o3Hdd_#}N 仅相位传输设计 XdgUqQb} \~rlgxd dm rps+L 结构设计 r WtZj} A $*[{J+t_ CC ijf] + 使用TEA进行性能评估 @pV5}N[] K2_Qu't0$ .o{0+fC# 使用FMM进行性能评估 D8K-K]W@ *2 "6fX[ G*
%t' jX9 进一步的分析（优化后，容差分析） z|R ,& ~: 
AS!6XT
