摘要 VVuNU"- 5yW}#W> E3x<o<v 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
u2':~h?l ) 5x$J01S 任务 !QqVJ a{j • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
PKGqu,J, • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Xz/aytp~A D-m%eP. 4VA]S 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 "HJQAy?W
连接建模技术：衍射光束分束器 :4\_upRE 
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#yCnM] cEn • 相位函数设计
Wx8 cK= • 结构设计
Ax4; [K\Q • TEA 评估
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K| • FMM 评估
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.N3ezn • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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z~ 1-G-p:| 仅相位传输设计 BK.RYSN 2T"[$iH!7 En8L1$_ 结构设计 L[:M[,?=` n8&x=Z}Xs >k 2^A 使用TEA进行性能评估 (Q|Y*yI s%N6^}N pTYV @5| 使用FMM进行性能评估 ;s-fYS6(>{ A& Q!W)= T
zHR 进一步的分析（优化后，容差分析） Wk/Il^YG 
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