摘要 hosY`"X \X ! NoF h 6? Z 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
B/;'D7i|S %K=_ 任务 @x743}Y\ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
dS <*DP • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
a]%s ks ol L? 6)gC d: ^B2~j 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 75> Ok / 连接建模技术：衍射光束分束器 ZvT>A#R;l~ 
"lt5gu! `u ：
NW 2`)e' • 相位函数设计
1 0c.#9$ • 结构设计
vDi Opd • TEA 评估
$6D* G-*8 • FMM 评估
R)\^*tkz7 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
:E~rve' ey4.Hj#T 仅相位传输设计 [ >\|QS| t:vBVDkD Ov?J"B'F 结构设计 dY~z6bT XM`
H@ s7 |vGHh zZ| 使用TEA进行性能评估 a\}MJ5] = EA:f q Yb/*2iWX 使用FMM进行性能评估 nQ_{IO8/6W P#XV_2 -rm[. 进一步的分析（优化后，容差分析） T :m"
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