摘要 5y\35kT' >wt.)c?5 q 9j~|GE| 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
xU0iz{ 9 \=im{(0h 任务 _X;,,VEV! • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
.35~+aqC • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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' -Cx -= ytjZ7J['{ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
<HN+p i 连接建模技术：衍射光束分束器
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_B erHoQd • 相位函数设计
[7gz?9VyLF • 结构设计
D})/2O p • TEA 评估
QK0]9 • FMM 评估
Oy=0Hsh@x • 高度缩放检查（用于优化/容限）
\y=28KKc:c A> upT' 仅相位传输设计 8w:mL^6x (:`4*xK
@S}j=k 结构设计 Ua
6O~,\ :LNZC,-f}5 #I0FWZ>W 使用TEA进行性能评估 ov, L%5y@b{AR \-6y#R-B 使用FMM进行性能评估 Sq_.RU T5ky:{Y( }( Fmr7%m 进一步的分析（优化后，容差分析） ?;`G CE 
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