摘要 'Wx\"]: |}]JWsuB utFcFdX 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
J*^,l`C/ SSA%1l2! 任务 Qw{\sCH> • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
rH#c:BwSm • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
Le#E! sU Jnu}{^~ /64^5DjTh 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 x]my e 连接建模技术:衍射光束分束器 q~:'R
K{r1&O>W [][:/~q! 通过配置助手和IFTA进行相位设计 "0!eb3n hK9t}NE.O t?#vb}_ 将传输函数转化为结构 ;s!ns N !Xv2PdP `Q(]AGI2 衍射光束分束器表面 U#~nN+SIt X-;Qorb^ #ZYidt 衍射光束求解器 - TEA & FMM #P,[fgNy J*6n6 )W}/k$S 光栅级数 & 可编程光栅分析器 wr;|\<c k1 LtqV J}Z_.:JO(w 设计与评估结果:
6{Cu~G{]N • 相位函数设计
>w]k3MC • 结构设计
YCLD!S/? • TEA 评估
hAxuZb7 ? • FMM 评估
}TAGr 0 • 高度缩放检查(用于优化/容限)
@e?[oojrM 3Av(|<cR 仅相位传输设计 6GrMcI@hS <*6y`X >Wr 结构设计 l)!woOt f)s_e ,j(p}t 使用TEA进行性能评估 ]rX?n =ZJ?xA8 lj SR?:\ 使用FMM进行性能评估 5 1CU@1Ie MIXrLh3
r1az=$ 进一步的分析(优化后,容差分析) C$re$9U
X%R^)zKV :]z-Rz 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 J ]l@ r x#e\H
F 5z(>4 d! 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 1n5e^'z 4Z
T (+Nmio 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ;x0 KaFk