摘要 #T$yQ;eQ < m/@_" h+j{;evN 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
!M;><b}=5 P@FE 3g 任务 >,a$) z • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
^=[b]*V • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
DdCNCXU k nljc^ x}; sti R 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 r mJ`^6V 连接建模技术：衍射光束分束器 9i+.iuE%Bu 
c0QKx= ：
`J %35 • 相位函数设计
s'/ZtH6>C • 结构设计
o u=33}uO • TEA 评估
O96 %U$W • FMM 评估
ZoR6f\2M • 高度缩放检查（用于优化/容限）
)6{,y{ 5! <Yn-sH 仅相位传输设计 ,j(S'Pw J+m1d\l Bu eF C~&L; 结构设计 v]y=+* A ZuT5}XxF LwcAF g| 使用TEA进行性能评估 P
c'\ `JcWH_[ (BGflb 使用FMM进行性能评估 <Aqo['] `t>:i!s/ gWfMUl 进一步的分析（优化后，容差分析） \G 2PK&)F 
lX64IvG8+o
