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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 'Wx\"]:  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 J*^,l`C/  
    SSA%1l 2!  
    任务 Qw{\sCH>  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 rH#c:BwSm  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Le#E! sU  
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    /64^5DjTh  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 x]mye  
    连接建模技术:衍射光束分束器  q~:'R  
      
    K{r1&O>W  
    [][:/~q!  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 "0!eb3n  
    hK9t}NE.O  
    t?#vb}_  
    将传输函数转化为结构 ;s!ns N  
    !X v2PdP  
    `Q(]AG I2  
    衍射光束分束器表面 U#~nN+SIt  
    X-;Qorb^  
    # ZYid t  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM #P,[fgNy  
    J*6n6  
    )W}/k$S  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 wr;|\<c  
    k1LtqV  
    J}Z_.:JO(w  
    设计与评估结果 6{Cu~G{]N  
    • 相位函数设计 >w]k3MC  
    • 结构设计 YCLD!S/?  
    • TEA 评估 hAxuZb7 ?  
    • FMM 评估 }TAGr 0  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) @e?[oojrM  
    3Av(|<cR  
    仅相位传输设计 6GrMcI@hS  
     <*6y`X  
     >Wr   
    结构设计 l)!woOt  
    f)s_e  
    ,j(p}t  
    使用TEA进行性能评估 ]rX?n  
    =ZJ?xA8  
    lj SR?:\  
    使用FMM进行性能评估 5 1CU@1Ie  
    MIXrLh3  
    r1az=$  
    进一步的分析(优化后,容差分析) C$re$9U  
    X%R^)zKV  
    :]z-Rz  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 J ]l@ r  
    x#e\ H F  
    5z(>4d!  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 1n5e^'z  
    4Z T  
    (+Nmio  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ;x0KaFk  
     
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