摘要 5y\35kT' >wt.)c?5 q9j~|GE| 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
xU0iz{9 \=im{(0h 任务 _X;,,VEV! • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
.35~+aqC • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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'-Cx-= ytjZ7J['{ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
<HN+pi 连接建模技术:衍射光束分束器
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:(m, 06K fDplYn# 通过配置助手和IFTA进行相位设计 S Z/yijf CsycR @[ Cb? !+U 将传输函数转化为结构 ex1!7A!}g Mog [,{w '/9j"mIA9$ 衍射光束分束器表面 26nwUNak Y9<[n)>+ &dmIv[LU 衍射光束求解器 - TEA & FMM Y$n+\K (@xC-* oST)E5X;7 光栅级数 & 可编程光栅分析器 6'/Zq A^X\ <Z 3C&BM 设计与评估结果:
_BerHoQd • 相位函数设计
[7gz?9VyLF • 结构设计
D})/2O p • TEA 评估
QK0]9 • FMM 评估
Oy=0Hsh@x • 高度缩放检查(用于优化/容限)
\y=28KKc:c A>upT' 仅相位传输设计 8w:mL^6x (:`4*xK
@S}j=k 结构设计 Ua
6O~,\ :LNZC,-f}5 #I0FWZ>W 使用TEA进行性能评估 ov, L%5y@b{AR \-6y#R-B 使用FMM进行性能评估 Sq_.RU T5ky:{Y( }(Fmr7%m 进一步的分析(优化后,容差分析) ?;`GCE
>h#juO" V
)oXJL 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 8\'tfHL Lv/}&'\( E.NfVeq 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 [9Rh" H;h R0*P,~L;| NJr)f 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 gsM$VaF(