[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 T#xCu|
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 g^@Kx5O\  
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任务 pV{MW#e  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 7yo/sb9h  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 8 P85qa@w  
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#D M%_HXDi  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 n.jF:  
连接建模技术：衍射光束分束器 A]"$O&l  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 < .&t'W  
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将传输函数转化为结构 u}Vc2a,WV  
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衍射光束分束器表面 ga&l.:lo  
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JF!?i6V  
衍射光束求解器 - TEA & FMM R2WEPMH%  
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P5/K?I~/So  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 48dIh\TH"  
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Sp$~)f'  
设计与评估结果： Z*S 9pkWcF  
• 相位函数设计 | n5F_RL  
• 结构设计 m<)0XE6w  
• TEA 评估 g.OBh_j-v  
• FMM 评估 #R$d6N[H  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） +g,:!5pg  
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仅相位传输设计 sPY*2B  
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结构设计 {o"X8  
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使用TEA进行性能评估 #~?Q?"  
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使用FMM进行性能评估 amq]&.M  
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进一步的分析（优化后，容差分析） YBn"9w\#  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 2KVMQH`B9  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 a@`15O:  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 jn vJ`7zFP