摘要 ? xa70Pb{; pwF +ZNo uOQ!av2"Rf 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
64LX[8Ax# W)X" G3 任务 &9+] {jXF • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
H^M fj!S • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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".v+ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 `e`}dgf0S| 连接建模技术：衍射光束分束器 R\a6 #u3 
PFKl6_( ：
2M+}o"g • 相位函数设计
`@<~VWe5 • 结构设计
\N% L-%^ • TEA 评估
[59g] ') • FMM 评估
\wKnX]xGf • 高度缩放检查（用于优化/容限）
B,q)<z6< ]+k]Gbty6 仅相位传输设计 "X( 9.6$_ !b"2]Qv pJ3-f k"i 结构设计 4wkmgS
* lJk k /HE{8b7n3F 使用TEA进行性能评估 u}">b+{! !gm@QO cF i*]$_\yl" 使用FMM进行性能评估 ZBk br ae#Qeow` h3[x ZJO 进一步的分析（优化后，容差分析） ${ 5E 
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