[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 u<+;]8[o  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 }
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任务 S
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• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 ]H.+=V;1  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 >0512_J+  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 N["(ZSS   
连接建模技术：衍射光束分束器 $bD!./fl  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 + J_W}G  
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将传输函数转化为结构 {5*+  
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衍射光束分束器表面 %3FI>\3  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM ZW,PZ<  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 +!w?g/dV  
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设计与评估结果： bXtA4O  
• 相位函数设计 ,$CZ(GQ  
• 结构设计 3fBq~Q  
• TEA 评估 7O"T`>  
• FMM 评估 f!1KGP  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） VeCpz[r  
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仅相位传输设计 8lbNw_U  
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结构设计 ^gv)[  
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使用TEA进行性能评估 &0Nd9%>  
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使用FMM进行性能评估 }<S|_F  
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进一步的分析（优化后，容差分析） pW!]  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 _{T`
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 _Z9I')  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 Vd|/]Zj