摘要 }^tW's8 1'4?}0Dok 4U>g0 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
L~|_C Rw IC6r? 任务 oF L7dL • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
t5RV -$ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
,4--3 MU p!>DA?vF /l>!7 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ~1:_w ni 连接建模技术：衍射光束分束器 g$ h` .Fk, 
]e6$ ={ ：
o1R:1!"2 • 相位函数设计
z1nK j\AM2 • 结构设计
uj: 1_&g • TEA 评估
S S fNI> • FMM 评估
%>!W+rO, • 高度缩放检查（用于优化/容限）
4Z.Dz@.c( |[!7^tU* 仅相位传输设计 M U:q`DRr M>d ^.n y({lE3P 结构设计 B ?l 0u |7QSr!{_ uCoy~kt292 使用TEA进行性能评估 c 5 `74g |3 mcL' f7/M _sx 使用FMM进行性能评估 [>KnMi=o) =q}Z2 OoYh ^hcK& 进一步的分析（优化后，容差分析） <%.lPO]&E 
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