[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 -'6<  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 MY!q%  
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任务 BRb\V42i;  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 mj@31YW  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 9 ~~qAoD  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 id^|\hDR  
连接建模技术：衍射光束分束器 F?z
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 4QE=f(u;h  
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将传输函数转化为结构 eIg+PuQD]  
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衍射光束分束器表面 T"?Y5t`(  

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衍射光束求解器 - TEA & FMM G}VDEC  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 DzC Df@TB"  
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设计与评估结果： CbOCk:,g5  
• 相位函数设计 gWOt]D&#/  
• 结构设计 Z\Z,,g+WL  
• TEA 评估 ;L~p|sF  
• FMM 评估 gO='A(Y  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） K
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仅相位传输设计 ~U$":~H[  
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结构设计 nA_%2F'W}  
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使用TEA进行性能评估 qsI^oBD"  
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使用FMM进行性能评估 9 |
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进一步的分析（优化后，容差分析） l%~lz[  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 _?`&JF?*  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 WC*=rWRxF  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 >&U@f