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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 p@5`& Em,  
    '~&X wZ&  
       `A^"% @j  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 5^lxj~ F  
    u\{ g(li-I  
    任务 s<_)$}  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 tEKmy7'#  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 D.Q=]jOs  
    dA0.v+Foz"  
    JB`\G=PiL  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 QQ~-  
    连接建模技术:衍射光束分束器 C/kW0V7  
      
    HO%wHiv1X  
    - 'W++tH=  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 s4SG[w!d  
    f Tl<p&b  
    l q&wXi  
    将传输函数转化为结构 FCuB\ Q  
    %$ Z7x\_  
    /8g^T")  
    衍射光束分束器表面 aL%AQB,  
    DRgTe&+  
    @I/]D6 ~"  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM kg3EY<4i  
    !l 1fIc  
    5nO% Ke=  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 w1#gOwA,$  
    ?5 cI'  
    G *;a^]-  
    设计与评估结果: "WK{ >T  
    • 相位函数设计 ?1$fJ3  
    • 结构设计 ^(h+URFpA  
    • TEA 评估 rKf-+6Na  
    • FMM 评估 JJ'.((  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) *2Ht &  
    rJ{O(n]j  
    仅相位传输设计 ,o,I5>`  
    <-S%kA8  
    cwWodPNm  
    结构设计 p2udm!)J  
    !PJ6%"  
    5qoSEI-m  
    使用TEA进行性能评估 K7Wk6Aw  
    Z%Zd2 v  
    #x3ujJ  
    使用FMM进行性能评估 '-b*EZU8t  
    ?Poq2  
    UHxE)]J  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ,|plWIl~  
    )!:Lzi  
    I=9!Rs(QF  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 F^LZeF[#t  
    xD[Gq%  
    .]7Qu;L  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 hq/k*;  
    e=;AfK  
    uDSxTz{  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7C2&NyWJ  
     
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