摘要 p@5`&Em, '~&X wZ& `A^"%@j 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
5^lxj~ F u\{ g(li-I 任务 s<_)$} • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
tEK my7'# • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
D.Q=]jOs dA0.v+Foz" JB`\G=PiL 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 QQ ~- 连接建模技术:衍射光束分束器 C/kW0V7
HO%wHiv1X -
'W++tH= 通过配置助手和IFTA进行相位设计 s4SG[w!d f Tl<p&b
lq&wXi 将传输函数转化为结构 FCuB\Q %$Z7x\_ /8g^T") 衍射光束分束器表面 aL%AQB, DRgTe&+ @I/]D6
~" 衍射光束求解器 - TEA & FMM kg3EY<4i !l 1fIc 5nO% Ke= 光栅级数 & 可编程光栅分析器 w1#gOwA,$ ?5cI' G *;a^]- 设计与评估结果:
"WK{ >T • 相位函数设计
? 1$fJ3 • 结构设计
^(h+URFpA • TEA 评估
rKf-+6Na • FMM 评估
JJ'.(( • 高度缩放检查(用于优化/容限)
*2Ht& rJ{O(n]j 仅相位传输设计 ,o,I5>` <-S%kA8 cwWodPNm 结构设计 p2udm! )J !PJ 6%" 5qoSEI-m 使用TEA进行性能评估 K7Wk6Aw Z%Zd2
v #x3ujJ 使用FMM进行性能评估 '-b*EZU8t ?Poq2 UHxE)]J 进一步的分析(优化后,容差分析) ,|plWIl~
)!:Lzi I=9!Rs(QF 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 F^LZeF[#t xD[Gq% .]7Qu;L 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 hq/k*; e=;AfK uDSxTz{ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7C2&NyWJ