摘要 neFwxS? R,3cJ
Y_% z$Jm1l 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
fl-J:`zyyZ JX&U?Z 任务 -PpcFLZ| • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
qHk{5O3 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
<Z^by;d|z h ;*x1BVE RBQ8+^ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 P<vl+&* 连接建模技术:衍射光束分束器 ?oYO !
NsB]f{7>8+ QoYEWXT|g 通过配置助手和IFTA进行相位设计 Wj.t4XG! \B#tB?rA
^*AI19w!Ys 将传输函数转化为结构 l|.}>SfL^u ^+yz}YFM xX&B&"]5 衍射光束分束器表面 7eCjp UBwl2Di >/n];fl>8 衍射光束求解器 - TEA & FMM T?RY~GA \HO)ss)" 4kL6aSqT 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ^("b~-cJ ]W3_]N 3 T1C_L?L 设计与评估结果:
s&$?m[w • 相位函数设计
FtTq*[a • 结构设计
T
6D+@i • TEA 评估
aBC5?V*e% • FMM 评估
iYr)Ao5X • 高度缩放检查(用于优化/容限)
5M>h[Q"R DXf 仅相位传输设计 K$Bv4_|x #aX#gh}1
jG1(Oe;# 结构设计 JRB6T _U RsDSsux Ur+U#} 使用TEA进行性能评估 "w?0f[" $+80V{J# MnD}i&k[ 使用FMM进行性能评估 $2uC%er"H DZqG7p$u4i ^=x /:0 进一步的分析(优化后,容差分析) $q\"d?n
neU=1socJ E+Bc>xl@m 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 2q[pOT'k fnX[R2KZ IT NFmD 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 L!:NL#M ~Z5AIm R| 2{j$1EdI@- 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 45 ^ Z5t