摘要 R9"}-A &"27U ( plT/0=^t 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
cnw+^8 1,]FLsuy 任务 PyK !Cyq • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
#N~1Y e • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
/ iAhGY :q j;f];| ?_p!teb 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 dD~H ft 连接建模技术：衍射光束分束器 \d]Y#j< 
Q"c/]Sk) ：
N7
hl M • 相位函数设计
euRKYGW • 结构设计
)UTjP/\gN • TEA 评估
iVf7;M8O • FMM 评估
2mMi=pv9 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Hvy$DX|p mO(Y>|mm 仅相位传输设计 !>=lah$& A=Hv}lv 4` fV_H.8 结构设计 ~gOZ\ jm} }A;YM1^$ kzNRRs\e 使用TEA进行性能评估 gy~2 LY !} )PYh./_2 `L[q`r7 使用FMM进行性能评估 I|>.&nb oSf`F1;)HQ {D :WXvI 进一步的分析（优化后，容差分析） L+T7Ge
q 
m']$)Iqw
