摘要 #*qV kPX 0ZDm[#7z 9)]`le 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
>^`# %$+ 72xf|s= 任务 NR(rr. • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
,"`3N2!Y} • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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[`d 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 @H$am 连接建模技术:衍射光束分束器 AJLzLbV+
@w= =*.x okRt^qe 通过配置助手和IFTA进行相位设计 m`fdf>gWp !gRU;ZQU_ lshSRir 将传输函数转化为结构 #UymD-yII ^0>^5l'n /G7^ l>pa 衍射光束分束器表面 2& Hl
wpx |>U<EtA" ~l'[P=R+8 衍射光束求解器 - TEA & FMM @(a~p E{JTy{z- Th%w-19,8 光栅级数 & 可编程光栅分析器 9<CUm"%J ~!TrC<ft bupW*fD: 设计与评估结果:
Bq~S=bAB>R • 相位函数设计
!lEV^SQJs • 结构设计
K6B6@ • TEA 评估
!?i9fYu • FMM 评估
~8k`~t! • 高度缩放检查(用于优化/容限)
5ip ZdQ^ 78xiT 仅相位传输设计 B\AyG4J QrmGrRH ]OKKR/: 结构设计 aF"PB
h= DPnrzV) O>rz+8 T 使用TEA进行性能评估 "0G)S' E?K(MT&@ U.^%7. 使用FMM进行性能评估 tJd/uQJ k~<ORnda 96F+I!qC 进一步的分析(优化后,容差分析) yP@#1KLa+
}F V_jJ ?5d[BV 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 q,Nqv[va REJBm Gqar5 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 9WoTo ,q `o+J/nc /WAOpf5 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 +@Kq