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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 #*qV kPX  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 >^`#%$+  
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    任务 NR(rr.  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ,"`3N2!Y}  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 *~6]IWN`  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 @H$am  
    连接建模技术:衍射光束分束器 AJLzLbV+  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 m`fdf>gWp  
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    将传输函数转化为结构 #UymD-yII  
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    衍射光束分束器表面 2& Hl wpx  
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    ~l'[P=R+8  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM @(a~ p  
    E{JTy{z-  
    Th%w-19,8  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 9<CUm"%J  
    ~!TrC <ft  
    bu pW*fD:  
    设计与评估结果 Bq~S=bAB>R  
    • 相位函数设计 !lEV^SQJs  
    • 结构设计 K6B6@  
    • TEA 评估 !?i9fYu  
    • FMM 评估 ~8k`~t!  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) 5ip ZdQ^  
    7 8xiT  
    仅相位传输设计 B\AyG4J  
    QrmGrRH  
    ]OKKR/:  
    结构设计 aF"PB h=  
    DPnrzV )  
    O>rz+8T  
    使用TEA进行性能评估 "0G)S'  
    E?K(MT&@  
    U .^%7.  
    使用FMM进行性能评估 tJ d/u QJ  
    k~<ORnda  
    96F+I!qC  
    进一步的分析(优化后,容差分析) yP@#1KLa+  
    }FV_jJ  
    ?5d[BV   
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 q,Nqv[va  
    REJBm  
    Gqar5  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 9WoTo ,q  
    `o+J/nc  
    /WAOpf5  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶  +@Kq  
     
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