摘要 .'1j5Y-l`N z)~!G~ J] F%d"gF0qu 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Q=8
cBRe q': wSu u 任务 kI'A`
/B l • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
M::iU_ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
9gg,Dy zF r} $ pQ Y > 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 #U}U>4' 连接建模技术：衍射光束分束器 uLM_KZ 
RX1{?*r]Z ：
f](uc(8Z • 相位函数设计
&R*5;/
! • 结构设计
*v ^"4 • TEA 评估
d %W}w. • FMM 评估
[B3aRi0AQ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
QCfpDE} bTGK@~ 仅相位传输设计 \{zAX~k6 f<:U"E . _-J @$d% 结构设计 az;jMnPpR5 \%Rta$ O?S =awO63j> 使用TEA进行性能评估 wrYQ=u#Z $3.vVnc m2CWQ [u 使用FMM进行性能评估 cC^C7AAq^ F}(QKO* Y;F
R"~^ 进一步的分析（优化后，容差分析） `F\:XuY 
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