[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 J~50#vHY  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 h@o6=d=4  
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任务 9ExI,  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 9%bErMHL  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 IW-|"5?9'  
oB~V~c}8x  
MSRk|0Mcr  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 *adznd  
连接建模技术：衍射光束分束器 M?GkHJ%!  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 X*:,|  
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qhc$M  
将传输函数转化为结构 B9%
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\Hf/8!q  
Bf6i{`!G  
衍射光束分束器表面 ;tF&r1  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM 4nGt*0Er  
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"a3?m)  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 l(}MM|ka  
pLys%1hg  
WtaOf
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设计与评估结果： -GM"gkz  
• 相位函数设计 f=u
+G  
• 结构设计 5jUy[w @  
• TEA 评估 8R:Glif  
• FMM 评估 MvnQUZ  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） M)nh~gU  
O:GAS [O`  
仅相位传输设计 E@n~ @|10  
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结构设计 8S8UV(K0  
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使用TEA进行性能评估 \=]`X2Ld  
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I|qhj*_C  
使用FMM进行性能评估 oveK;\7/m  
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c b&Yf1  
进一步的分析（优化后，容差分析） 6x=w-32+ y  
E^br-{|{  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 41s\^'^&  
\nPf\6;M  
KfYU.Q  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 V*5v JF0j  
)fxn bBz{  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 R5%CK_