摘要 k|j:T[_ 2VYvO=KA eE3-t/= 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
}98-5'u.X /H&aMk}J@y 任务 #5{sglC"|F • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
#93}E
Y • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
" i`8l .Lc V5s& hZZYa 42@a(#z(U 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 D rS?=C@ 连接建模技术：衍射光束分束器 rm|7
[mK 
,)$Wm- ：
.zwVCW,u • 相位函数设计
B1,?{Ur • 结构设计
]Zv , • TEA 评估
cG (0q[ • FMM 评估
x!+Z{ x • 高度缩放检查（用于优化/容限）
9:\A7 = m5qCq9Y 仅相位传输设计 .EzSSU7n) S w
"|iBZ@ ybYXD? 结构设计 sH@ &* i-"<[*ePd JP%RTGu 使用TEA进行性能评估 ">,K1:(D T>5wQYh$' `axQd%:AC 使用FMM进行性能评估 `\e'K56W6 un&> pLo;#e8'f 进一步的分析（优化后，容差分析） ec1Fg0Fa 
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