摘要 A+NLo[swwu W<v?D6dFq lvc X}{>\ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
q<.^DO~$L Y!CZ?c) @ 任务 x)nBy)< • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
3mpEF<z • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Pgs4/ 19&!#z |OuZaCJG 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 N2xgyKy~ 连接建模技术：衍射光束分束器 ]p@7[8} 
i#&]{]}Q v ：
pB h [F5 • 相位函数设计
h $4V5V • 结构设计
}DY^a'wJ- • TEA 评估
xL=g(FN(6L • FMM 评估
24>{T5E • 高度缩放检查（用于优化/容限）
~iyd p `p*7MZ9 - 仅相位传输设计 ?r2 Im5N E &GUg/d 2l E {
P 结构设计 _Ev"/ % ZO
W{rv] -P@o>#Em 使用TEA进行性能评估 cD-\fRBGK pcoJ\&&W Jel%1'Dc^ 使用FMM进行性能评估 (;V]3CtU* 6@; w%Ea ] l}8 进一步的分析（优化后，容差分析） SDcD( G 
%pe7[/
