摘要 aC&ZV}8of 3]X9 z AxN. k 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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任务 4l2xhx • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
7sQw&yUL) • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
\rw/d5. #0hX'8];( U~mv1V^. 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 4RH'GnLa 连接建模技术：衍射光束分束器 WG{mg/\2(C 
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I8;> ：
J {gqm • 相位函数设计
]to"X7/ • 结构设计
rpgr5> • TEA 评估
0.}Um • FMM 评估
,_ XDCu @ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
|EJ&s393& S^GB\uJ 仅相位传输设计 ~h~K"GbC? R;P>_ei(LK /` 3^?zlu" 结构设计 'oZ/fUl|7 qzVmsxBNP {(7D=\eU 使用TEA进行性能评估 @)8QxI^3[ *-timVlaE c3gy{:lb 使用FMM进行性能评估 Lc|5&<8ZG1 62B` Z5j# a2dlz@)J 进一步的分析（优化后，容差分析） T,72I 
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