摘要 t7-r YY( 9T ;>gm OGEe8Z9Jt 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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pH bD )"Jy 任务 .Z]hS7t • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
\e' Vsy>q • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
I_#5gq _an 0G?7 ftmP dha%+ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 F<h+d917 连接建模技术：衍射光束分束器 =XYc2. t 
x+~!M:fAc9 ：
GL>YJ% • 相位函数设计
7MZH'nO • 结构设计
uDJ;GD[yc • TEA 评估
^AI02`c. • FMM 评估
I*N v|HST • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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? 使用TEA进行性能评估 {U>N*&_ ` /9gn)q2f( pl[@U<8aw 使用FMM进行性能评估 $n W9VMa < @GO]vY lw~
V 进一步的分析（优化后，容差分析） j[R. UB3J 
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