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kOR%<#:J 内容简介 8dUwJ"<5 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G`mC=*Ma; 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 xzMa[D4( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 "=|yM~V WLNkO^zb 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Ec0Ee0%A] 目录 -.g5|B Preface 1 1WcT>_$ 内容简介 2 Dw[w%uz 目录 i `"(7)T{ 1 引言 1 l},px 2 光学薄膜基础 2 7"*-
>mg 2.1 一般规则 2 OU9=O> 2.2 正交入射规则 3 z]P |% 2.3 斜入射规则 6 gNs@Q! 2.4 精确计算 7 wC=IN 2.5 相干性 8 fgl"ox 2.6 参考文献 10 FPFt3XL 3 Essential Macleod的快速预览 10 =q5A@!D 4 Essential Macleod的特点 32 {(7.X4\x 4.1 容量和局限性 33 orzdq 4.2 程序在哪里? 33 2HQ'iEu$ 4.3 数据文件 35 <ze'o.c 4.4 设计规则 35 g:;v] 4.5 材料数据库和资料库 37 = "c
_<?=[ 4.5.1材料损失 38 2E2J=Do 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {Fb)Z"8] 4.5.2 材料库 41 51;(vf 4.5.3导出材料数据 43
pb E`Eq 4.6 常用单位 43 _7$j>xX 4.7 插值和外推法 46 4ItXZ o 4.8 材料数据的平滑 50 -+Q,xxu 4.9 更多光学常数模型 54 %iD>^ Dp 4.10 文档的一般编辑规则 55 VWfrcSZg6M 4.11 撤销和重做 56 X dB#+"[ 4.12 设计文档 57 Q
`E{Oo, 4.10.1 公式 58 eX_}KH-Q 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 x:l`e:`y9 4.10.3 沉积密度 59 h.2!d0j] 4.10.4 平行和楔形介质 60 {_[l,tdZ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Sk;IAp#X9 4.10.4 性能 61 >%[(C*Cks 4.10.5 保存设计和性能 64 O IewG5O 4.10.6 默认设计 64 Mh_jlgE'd# 4.11 图表 64 8zVXQ!' 4.11.1 合并曲线图 67 v S%+ 4.11.2 自适应绘制 68 f+I*aBQ 4.11.3 动态绘图 68 *[yCcqN. 4.11.4 3D绘图 69 ;xth#j 4.12 导入和导出 73 )2^OBfl7 4.12.1 剪贴板 73 k9R1E/; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ZibHT:n 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 I}k!i+Yl 4.13 背景 77 ]E=JUYf0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /;.M$}Z>` 4.15 生成Rugate 84 g_n=vO('X 4.16 参考文献 91 L</"m[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ^Gd<miw 5.1 Jobs 92
|qbJ]v! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 j/B zbjq" 5.3 输入材料 94 dr/!wr'&hS 5.4 设计数据文件夹 95 h gVwoZ{`] 5.5 默认设计 95 3!}'A 6 细化和合成 97 Q?1 KxD! 6.1 优化介绍 97 Zs{ `Yf^Q 6.2 细化 (Refinement) 98 ^`dp!1.+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ( I,V+v+{Y 6.4 目标和评价函数 101 Y_)04dmr@[ 6.4.1 目标输入 102 Xq)'p8C? 6.4.2 目标 103 A>k+4|f 6.4.3 特殊的评价函数 104 Kw?,A
6.5 层锁定和连接 104
dc5B# 6.6 细化技术 104 ORHC bw9 6.6.1 单纯形 105 C)ChF`Ru': 6.6.1.1 单纯形参数 106 WHpbQQX 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 fp>o ^+VB 6.6.2.1 Optimac参数 108 }y[o[> 6.6.3 模拟退火算法 109 ;TW@{re 6.6.3.1 模拟退火参数 109 YK[O#V 6.6.4 共轭梯度 111 KR522YW 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 j:sac*6m 6.6.5 拟牛顿法 112 ;w6\r!O, 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :nXBw%0x 6.6.6 针合成 113 R/^ rh 6.6.6.1 针合成参数 114 }'X}!_9w> 6.6.7 差分进化 114 ]\3dJ^q|% 6.6.8非局部细化 115 1MV^~I8Dd 6.6.8.1非局部细化参数 115 Viw{<VH= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 bpU^|r^W 6.7.1 细化 116 Dl"y| 6.7.2 合成 117 I}8F3_b,# 6.8 参考文献 117 !.w S+ 7 导纳图及其他工具 118 Y*AHwc<w` 7.1 简介 118 6"=e+V@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 T[;{AXLeI 7.2.1 四分之一波长规则 119 8?)Da&+f 7.2.2 导纳图 120 -u9{R \S 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Fvv6<E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 "3>#[o 7.5 斜入射导纳图 141 U>I#f 7.6 对称周期 141 }5S2v+zE 7.7 参考文献 142 }3i@5ctQ 8 典型的镀膜实例 143 |6;.C1\, 8.1 单层抗反射薄膜 145 Q,DumOq 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 j1d=$'a " 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /3c1{%B\ 8.4 W-膜层 148 ims *|~{sr 8.5 V-膜层 149 +ypT"y 8.6 V-膜层高折射基底 150 %-SP 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 VtmUK$k}I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 U
*I52$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 kO9yei
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^1nf|Xj[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 J$P]>By5: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 d6n6 =
[* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 P$oa6`%l 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ![V<vIy 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^wHO!$ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :@3d 8.17 1/4波长堆栈 162 Z?@07Y[|K 8.18 陷波滤波器 163 VEpQT
Qp 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 >\i{,F=U7 8.20 褶皱 165 <
xV!vN 8.21 消偏振分光器1 169 /2U.,vw 8.22 消偏振分光器2 171 Xgl>kJy<# 8.23 消偏振立体分光器 172 3&zmy'b*: 8.24 消偏振截止滤光片 173 IQ~()/;3d 8.25 立体偏振分束器1 174 b"Ulc}$/& 8.26 立方偏振分束器2 177 LTCjw_<7 8.27 相位延迟器 178 jQdfFR 8.28 红外截止器 179 tDwXb> 8.29 21层长波带通滤波器 180 :,u+[0-S 8.30 49层长波带通滤波器 181 SVpe^iQ]1\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 <zUmcZ 8.32 47 红外截止器 183 S
xg Yq 8.33 宽带通滤波器 184 .Q#Eb %% 8.34 诱导透射滤波器 186 iVl"H@m/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 IrVeP&KM+ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _Yhpj}KZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 - Z|1@s& 8.35 增益平坦滤波器 193 t3WlVUtq3 8.38 啁啾反射镜 1 196 ruW6cvsvet 8.39 啁啾反射镜2 198 yQW\0&a$
8.40 啁啾反射镜3 199 B\mdOTLQ 8.41 带保护层的铝膜层 200 &]M<G)9 8.42 增加铝反射率膜 201 Jw^+t)t 8.43 参考文献 202 o4J K$% 9 多层膜 204 nxJhK
T 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *83+!DV| 9.2 内部透过率 204 .xD-eWw3R 9.3 内部透射率数据 205 `#UTOYx4 9.4 实例 206 =1,g#HS 9.5 实例2 210 eu4x{NmQ 9.6 圆锥和带宽计算 212 |p+VitM7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 o+vf 10 光学薄膜的颜色 216 FD6|>G 10.1 导言 216 PM|K*,3J 10.2 色彩 216 (5I]um tge 10.3 主波长和纯度 220 JDs<1@ \ 10.4 色相和纯度 221 [Cs2H8=# 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 a[u8x mH 10.6 色差 226 N8vWwN[3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 V-
vVb 10.8 颜色渲染指数 234 ^\CQWgY( 10.9 色差计算 235 b)V[d8IA 10.10 参考文献 236 =:2V4H(F 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -{w&ya4X 11.1 短脉冲 238 Uarb
[4OZ 11.2 群速度 239 Wm
A:"!~M 11.3 群速度色散 241 5p>a]gp 11.4 啁啾(chirped) 245 %1 v)rg
y 11.5 光学薄膜—相变 245 mA4v 4z 11.6 群延迟和延迟色散 246 z[';HJ0O; 11.7 色度色散 246 NBeGmC|
11.8 色散补偿 249 wb{y]~&6K 11.9 空间光线偏移 256 *=I#VN*_<. 11.10 参考文献 258 _
9k^Hd[L$ 12 公差与误差 260 REt()$
7~ 12.1 蒙特卡罗模型 260 5|Y4GQVz 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 LJiMtqg 12.2.1 误差工具 267 \\'!<Bn2d 12.2.2 灵敏度工具 271 1S=I(n?E 12.2.2.1 独立灵敏度 271 v-l):TL+= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Y,8M[UIK 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 F|PYDC 12.3 参考文献 276 FCIT+8K 13 Runsheet 与Simulator 277 >GjaA1, 13.1 原理介绍 277 9+/<[w7 13.2 截止滤光片设计 277 N(
/PJJ~ 14 光学常数提取 289 fLys$*^)^ 14.1 介绍 289 Sd)D-S 14.2 电介质薄膜 289 c_".+Fa 14.3 n 和k 的提取工具 295 % va/x]K 14.4 基底的参数提取 302 ~@-Az([H 14.5 金属的参数提取 306 <1@_MYo 14.6 不正确的模型 306 h?TE$&CL? 14.7 参考文献 311 u'N'<(\k 15 反演工程 313 2D-*Z=5^ 15.1 随机性和系统性 313 :;JJvYIs 15.2 常见的系统性问题 314 qH-dT,`"{ 15.3 单层膜 314 )kkO:j 15.4 多层膜 314 y /PEm)=Tt 15.5 含义 319 K=~h1qV: 15.6 反演工程实例 319 UyJ5}fBJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 J>+Dv?Ni$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 nyMA%9,B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 eag$i.^aS 16.1 光学性质的热致偏移 329 Z|7Y1W[ 16.2 应力工具 335 LAr6J 16.3 均匀性误差 339 Q0r_+0[7j 16.3.1 圆锥工具 339 l&C%oW 16.3.2 波前问题 341 ;bZ)q 16.4 参考文献 343 :H?p^d
e 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 hsl Js^ 17.1 引言 345 1.';:/~( 17.2 操作数 345 E]gKJVf9[ 18 如何在Function中编写脚本 351
e%qMrR 18.1 简介 351 7f`jl/ 18.2 什么是脚本? 351 plp).Gq 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8RocObY_W 18.4 基础 352 P= ]ZXj[ 18.4.1 Classes(类别) 352 e0hT 18.4.2 对象 352 %;zA_Wg 18.4.3 信息(Messages) 352 rL%xl,cn< 18.4.4 属性 352 ?!
kup 18.4.5 方法 353 6L*y$e"Qc 18.4.6 变量声明 353 zZDr=6|r_ 18.5 创建对象 354 Tn-H8;Hg 18.5.1 创建对象函数 355 8..itty 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 f[%iRfUFw 18.5.3 丢弃对象 356 @@I2bHyvb 18.5.4 总结 356 E(S}c*05O 18.6 脚本中的表格 357 jm*v0kNy 18.6.1 方法1 357 J"SAA0)@ 18.6.2 方法2 357 -Y+[`0$' 18.7 2D Plots in Scripts 358 G&;W 18.8 3D Plots in Scripts 359 Y@pa+~[{h3 18.9 注释 360 S4tdWA 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 iPs()IN.O 18.11 一个更高级的脚本 362 I=b#tUBh8 18.12 <esc>键 364 kDm=Cjxv 18.13 包含文件 365 D9Q%*DLd$_ 18.14 脚本被优化调用 366 !>! l=Z 18.15 脚本中的对话框 368 bb#w]!q 18.15.1 介绍 368 air{1="<- 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ))+R*k% 18.15.3 输入框函数 370 aUJ& 18.15.4 自定义对话框 371 yCQpqh 18.15.5 对话框编辑器 371 *FqNzly 18.15.6 控制对话框 377 K J~f ~2; 18.15.7 更高级的对话框 380 v|`)~"~ 18.16 Types语句 384 z? cRsqf 18.17 打开文件 385 <x1(}x:u` 18.18 Bags 387 j7i[z>:Y 18.13 进一步研究 388 *ZY{^f 19 vStack 389 6vmkDL8{A8 19.1 vStack基本原理 389 m(&ZNZK 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 O[-wm;_(=* 19.3 五棱镜 393 {9)LHX7dN 19.4 光束距离 396 P+]39p{ 19.5 误差 399 M>'-P 19.6 二向分色棱镜 399 [y'jz~9c 19.7 偏振泄漏 404 RJGf@am& 19.8 波前误差—相位 405 []u!piW 19.9 其它计算参数 405 C~:aol i; 20 报表生成器 406 BI}>"', 20.1 入门 406 ) I@gy 20.2 指令(Instructions) 406 lM?P8#3 20.3 页面布局指令 406 u(d>R5}' 20.4 常见的参数图和三维图 407 ;B
tRDKn 20.5 表格中的常见参数 408 _~6AUwM 20.6 迭代指令 408 `<
VoZ/v 20.7 报表模版 408 B_:K.]DK` 20.8 开始设计一个报表模版 409 .'SM|r$ 21 一个新的project 413 ~r=u1]z 21.1 创建一个新Job 414 WT!%FQ9 21.2 默认设计 415 koaH31Q 21.3 薄膜设计 416 )0/DY 21.4 误差的灵敏度计算 420 :vc[ iZ 21.5 显色指数计算 422 Z\NC+{7k] 21.6 电场分布 424 v6iV#yz3( 后记 426 0;V2>! 对此书有兴趣可以扫码加微联系 G*Qk9bk9
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