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1RX-`"^+ 内容简介 Q`6hJgyL Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ),y`Iw 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,fTC}>s4 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7'65+c[& -;ra(L` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 nqx0#_K-E 目录 r$-P Preface 1 p&u\gSo 内容简介 2 <;'{Tj-" 目录 i #H<}xC2 1 引言 1 J]zhwM 2 光学薄膜基础 2 e=p_qhBt 2.1 一般规则 2 t Zm`(2S 2.2 正交入射规则 3 zDEgC 2.3 斜入射规则 6 \ykA7Y% 2.4 精确计算 7 n7Bv~?DM 2.5 相干性 8 isy[RAP< 2.6 参考文献 10 Gc*=n*@^K 3 Essential Macleod的快速预览 10 kOdpW 4 Essential Macleod的特点 32 B2*>7 kc_s 4.1 容量和局限性 33 3Nwix_&S 4.2 程序在哪里? 33 D5({&.X[- 4.3 数据文件 35 .fhfb\$ 4.4 设计规则 35 D|<_96_m 4.5 材料数据库和资料库 37 YlT&.G 4.5.1材料损失 38 F(Zf=$cx 4.5.1材料数据库和导入材料 39 g.blDOmlc 4.5.2 材料库 41 vJct)i 4.5.3导出材料数据 43 M;'GnGFf 4.6 常用单位 43 |,S]EHIy 4.7 插值和外推法 46 @%*@Rar 4.8 材料数据的平滑 50 EAm31v C 4.9 更多光学常数模型 54 X2 ;72 4.10 文档的一般编辑规则 55 ntB#2S 4.11 撤销和重做 56 BB9eQ:
xO 4.12 设计文档 57
)*6 4.10.1 公式 58 g:xg ~H2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5-k gGOt 4.10.3 沉积密度 59 0%;| B 4.10.4 平行和楔形介质 60 *?C8,;=2r 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .@EzHe ^W 4.10.4 性能 61 |+JO]J#bc 4.10.5 保存设计和性能 64 J7oj@Or9 4.10.6 默认设计 64 Zn40NKYc 4.11 图表 64 F7w\ctUP 4.11.1 合并曲线图 67 Z+EZ</'(a 4.11.2 自适应绘制 68 wS?K c^2O 4.11.3 动态绘图 68 #*lDKn[vO 4.11.4 3D绘图 69 ])bgUH 4.12 导入和导出 73 y!:vX6l 4.12.1 剪贴板 73 xXI WEZA 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =jpRv<X|, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 N+5f.c+S- 4.13 背景 77 UM`$aPz 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 xaB#GdD 4.15 生成Rugate 84 7bE`P[ 4.16 参考文献 91 (E 8jkc
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |0>rojMq 5.1 Jobs 92 _8-1wx 5.2 创建一个新Job(工作) 93 H8B.c%_|U 5.3 输入材料 94 `mYp?NjR_ 5.4 设计数据文件夹 95 jjv'"K2 5.5 默认设计 95 w)qmq 6 细化和合成 97 r4gLoHD) 6.1 优化介绍 97 r3OtQ 6.2 细化 (Refinement) 98 /#"9!8%V 6.3 合成 (Synthesis) 100 W>?aZv 6.4 目标和评价函数 101 tQyQ+1 6.4.1 目标输入 102 .wWf#bB 6.4.2 目标 103 Z\QNn 6.4.3 特殊的评价函数 104 wt'"<UN 6.5 层锁定和连接 104 t1oTZ 6.6 细化技术 104 9^ C6ZgNS 6.6.1 单纯形 105 z Z~t,> 6.6.1.1 单纯形参数 106 ;Z;` BGZJ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Eg&Q,dH[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]d%Ou]609 6.6.3 模拟退火算法 109 $:-C9N29 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2\O!vp>|- 6.6.4 共轭梯度 111 s2 aFme 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 JJM!pD\ h 6.6.5 拟牛顿法 112 '&gUAt 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ,O^kZ}b 6.6.6 针合成 113 -sle7 k 6.6.6.1 针合成参数 114 !^1oH** 6.6.7 差分进化 114 "
;8kKR 6.6.8非局部细化 115 &?y|Pn 6.6.8.1非局部细化参数 115 =M4wP3V/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Zw/??Tq b 6.7.1 细化 116 KM^}d$x}s 6.7.2 合成 117 yd45y}uS;F 6.8 参考文献 117 :,/
\E 7 导纳图及其他工具 118 sv "GX<+ 7.1 简介 118 *l0i}"T^_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )^)|b5, 7.2.1 四分之一波长规则 119 o@} qPvt0 7.2.2 导纳图 120 ~+RrL,t# 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 (\%+id|/q@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %F;uW[4r 7.5 斜入射导纳图 141 eR3MU]zF 7.6 对称周期 141 cyL|.2, 7.7 参考文献 142 `sRys oW 8 典型的镀膜实例 143 C8:y+pH_U; 8.1 单层抗反射薄膜 145 k9\n='OI 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1JI7P?\B 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %V!!S#W 8.4 W-膜层 148 MpIP)bdq7 8.5 V-膜层 149 d+8|aS<A 8.6 V-膜层高折射基底 150 SQuW`EHBgs 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @Hp=xC9V 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 H
a`V"X{} 8.9 四层抗反射薄膜 153 3}.OSt'= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +]VW[$W 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 k9&pX8# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 3);Wgh6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 'w\Gd7E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _9iF`Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 h#|A c>fz 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 HuD~(CI. 8.17 1/4波长堆栈 162 bGB5]%v, 8.18 陷波滤波器 163 -PiZvge 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lJ4/bL2I/ 8.20 褶皱 165 E `%*lGu_ 8.21 消偏振分光器1 169 EixAmG 8.22 消偏振分光器2 171 h&bs` 8.23 消偏振立体分光器 172 v(jZ[{x@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 L7.LFWq$S 8.25 立体偏振分束器1 174 ?T[K{t;~jo 8.26 立方偏振分束器2 177 @=l.J+lh 8.27 相位延迟器 178 P?iQ{x}w~ 8.28 红外截止器 179 \Q,5Ne'o 8.29 21层长波带通滤波器 180 #}'sknvM} 8.30 49层长波带通滤波器 181 ~$4!C'0 8.31 55层短波带通滤波器 182 n(Ry~Xu_ 8.32 47 红外截止器 183 byj7c( 8.33 宽带通滤波器 184 :HN\A4=kc( 8.34 诱导透射滤波器 186 ~T'$gl 8.35 诱导透射滤波器2 188 uF-Rl##
> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 xEe3,tb'e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 %TQ5#{Y 8.35 增益平坦滤波器 193 lMXLd91 8.38 啁啾反射镜 1 196 Y2y =
P 8.39 啁啾反射镜2 198 mC`U"rlK~ 8.40 啁啾反射镜3 199 _We4% 8.41 带保护层的铝膜层 200 5cC)&}I 8.42 增加铝反射率膜 201 95 X6V 8.43 参考文献 202 iA+zZVwO 9 多层膜 204 Pill |4 c< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0J9Ub
9.2 内部透过率 204 to'O;f">n 9.3 内部透射率数据 205 +0n,>eDjg^ 9.4 实例 206 dv\aP 9.5 实例2 210 `[.4SIah 9.6 圆锥和带宽计算 212 Csx??T_>r 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,6^V)F 10 光学薄膜的颜色 216 _~E_#cNn 10.1 导言 216 JuXuS 10.2 色彩 216 NE!] 10.3 主波长和纯度 220 &0@AM_b 10.4 色相和纯度 221 VaylbYUCT/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ] Y6y ]u 10.6 色差 226 VxGR[kq$] 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )m$i``*<
10.8 颜色渲染指数 234 e{IwFX 10.9 色差计算 235 C Z/:(sOJ 10.10 参考文献 236 =doOt 7Rj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
$T}Dn[. 11.1 短脉冲 238 w,zgYX& 11.2 群速度 239 Pt%EyFG 11.3 群速度色散 241 ~px)Jd 11.4 啁啾(chirped) 245 W q>qso 11.5 光学薄膜—相变 245 tp=/f
!bv 11.6 群延迟和延迟色散 246 Yu9.0A_) : 11.7 色度色散 246 $8Y|&P 11.8 色散补偿 249 }VXZM7@u 11.9 空间光线偏移 256 `}&}2k 11.10 参考文献 258 -#"7F:N1 12 公差与误差 260 }h`ddo 12.1 蒙特卡罗模型 260 \dc*!Es 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 AoN|&o 12.2.1 误差工具 267 _8nT$!\\ 12.2.2 灵敏度工具 271 +^@6{1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /kK:{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 3D"?|rd~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 g|V0[Hnq6 12.3 参考文献 276 .2:S0=xt< 13 Runsheet 与Simulator 277 )1S"D~j- 13.1 原理介绍 277 q| 7$@H^* 13.2 截止滤光片设计 277 QDJ:LJz\ 14 光学常数提取 289 $79-)4;z4 14.1 介绍 289 /2e,,)4g 14.2 电介质薄膜 289 ?;)F_aHp 14.3 n 和k 的提取工具 295 92S,W?( 14.4 基底的参数提取 302 QF`o%mI 14.5 金属的参数提取 306 joJ:*oL 14.6 不正确的模型 306 K_E- Hgg_ 14.7 参考文献 311 piKR*|F 15 反演工程 313 2XGbqZj 15.1 随机性和系统性 313 YO^iEI. 15.2 常见的系统性问题 314 23=SXA! 15.3 单层膜 314 %oEvp{I 15.4 多层膜 314 OLM}en_L 15.5 含义 319 #mcU);s 15.6 反演工程实例 319 \mp5G&+/Q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1*J#:|({(
15.6.2 反演工程提取折射率 327 gdfG3d$4 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 y153ax 16.1 光学性质的热致偏移 329 VyL|d^'f_ 16.2 应力工具 335 n^Sc*7 16.3 均匀性误差 339 v&*}O 16.3.1 圆锥工具 339 AilfeHG 16.3.2 波前问题 341 &SE+7HXw 16.4 参考文献 343 n32.W?9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0ge^pO\Z 17.1 引言 345 9F"Q2^l' 17.2 操作数 345 MW6KEiQ" 18 如何在Function中编写脚本 351 ]w[T_4l 18.1 简介 351 GcYT<pwN6 18.2 什么是脚本? 351 #[{xEVf 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 vs~lyM/ 18.4 基础 352 CuD ^@ 18.4.1 Classes(类别) 352 $1$T2'C~+ 18.4.2 对象 352 \9t6#8 18.4.3 信息(Messages) 352 86,$ I+ 18.4.4 属性 352 FI$#x%A 18.4.5 方法 353 Rr>h8Ni < 18.4.6 变量声明 353 #XlE_XD 18.5 创建对象 354 lm;G8IP` 18.5.1 创建对象函数 355 B 8ycr~ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 fCxF3m(O 18.5.3 丢弃对象 356 {b6g!sE 18.5.4 总结 356 j,/t<@S> 18.6 脚本中的表格 357 8fwM)DKS 18.6.1 方法1 357 cWA$O*A 18.6.2 方法2 357 \7Fkeo+ 18.7 2D Plots in Scripts 358 >av.pJ(> 18.8 3D Plots in Scripts 359 `e!hT@Xxa 18.9 注释 360 W^^}-9 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 0fTEb%z8 18.11 一个更高级的脚本 362 Qe )#'$T 18.12 <esc>键 364 wzRIvm{ 18.13 包含文件 365 ?w[M{ 18.14 脚本被优化调用 366 BsX#
~ 18.15 脚本中的对话框 368 C8 b%r|^# 18.15.1 介绍 368 =_L 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~t~5ctJ@ 18.15.3 输入框函数 370 pH1 9"=p< 18.15.4 自定义对话框 371 :9E_L2M 18.15.5 对话框编辑器 371 ;|Ja|@82 18.15.6 控制对话框 377 j>0~"A 18.15.7 更高级的对话框 380 7o4 vf~ 18.16 Types语句 384 K{&b "Ba1 18.17 打开文件 385 =!`\=!y 18.18 Bags 387 iY2%_b!5 18.13 进一步研究 388 &Tf R]. 19 vStack 389 [,|Z< 19.1 vStack基本原理 389 92k}ON 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 D?w-uR%Y 19.3 五棱镜 393 %TJF+; 19.4 光束距离 396 PUN.nt 19.5 误差 399 _z!0ab 19.6 二向分色棱镜 399 q$Ol"K@ 19.7 偏振泄漏 404 QJG]z'c+ 19.8 波前误差—相位 405 j{nkus2 19.9 其它计算参数 405 @Yq! 20 报表生成器 406 _5nQe
! 20.1 入门 406 A_t<SG5
20.2 指令(Instructions) 406 S %"7`xl 20.3 页面布局指令 406 z^f-MgWG 20.4 常见的参数图和三维图 407 KcB?[ 20.5 表格中的常见参数 408 i`g>Y5 20.6 迭代指令 408 Kup-O
u, 20.7 报表模版 408 ^j2:fJOU# 20.8 开始设计一个报表模版 409 _l?5GLl_F$ 21 一个新的project 413 X
|f'e@ 21.1 创建一个新Job 414 hfvs'. 21.2 默认设计 415 m,u?
^W 21.3 薄膜设计 416 g(:y_EpmLH 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;D/'7f7.} 21.5 显色指数计算 422 *ihg' 21.6 电场分布 424 A&5$eGe9 后记 426 ]T+.kC
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