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#^&.*'z%z 内容简介 `tZ`a Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5Dlx]_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $>y 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
-z$&lP] 0I@Cx{$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 u9R:2ah&K 目录 BY^5z<^. Preface 1 1$G'Kg/ 内容简介 2 G`r*)pdm 目录 i f'3sT(1& 1 引言 1 AilfeHG 2 光学薄膜基础 2 i@XFnt 2.1 一般规则 2 t.E3Fh!o 2.2 正交入射规则 3 "sU ~| 2.3 斜入射规则 6 K~JXP5`( 2.4 精确计算 7
@s@67\ 2.5 相干性 8 @ag*zl 2.6 参考文献 10 2DbM48\E 3 Essential Macleod的快速预览 10 xg2
& 4 Essential Macleod的特点 32 '+{dr\nJ 4.1 容量和局限性 33 D1VM_O
4.2 程序在哪里? 33 Jz6,2,LN 4.3 数据文件 35 iNAaTU 4.4 设计规则 35 -P3;7_}]:h 4.5 材料数据库和资料库 37 jB-)/8.qk 4.5.1材料损失 38 _z3YB 4.5.1材料数据库和导入材料 39 lm;G8IP` 4.5.2 材料库 41 B 8ycr~ 4.5.3导出材料数据 43 [5Dg%?x 4.6 常用单位 43 Z'I0e9Jw 4.7 插值和外推法 46 az2CFd^M 4.8 材料数据的平滑 50 ?nAKB5= 4.9 更多光学常数模型 54 9&`ejeD 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^."HD( 4.11 撤销和重做 56 p-t*?p
C 4.12 设计文档 57 z.7'yJIP# 4.10.1 公式 58 `i)&nW)R 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uJ! yM;{+ 4.10.3 沉积密度 59 _("&jfn
4.10.4 平行和楔形介质 60 1#3 Qa{i 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 MYb^ILz H3 4.10.4 性能 61 HBFuA.", 4.10.5 保存设计和性能 64 s *B-| 4.10.6 默认设计 64 @GiR~bKZ 4.11 图表 64 4U*uH 4.11.1 合并曲线图 67 HjFY>(e 4.11.2 自适应绘制 68 k5@_8Rc 4.11.3 动态绘图 68 >xt*( j&} 4.11.4 3D绘图 69 p3NTI /- 4.12 导入和导出 73 rpNe8"sh 4.12.1 剪贴板 73 :tA|g 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 O<x53MN^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *ppb4R;CW 4.13 背景 77 KrFV4J[ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XTZI! 4.15 生成Rugate 84 *0^t;A+ 4.16 参考文献 91 {:3XP<hqN 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,A>i)brc 5.1 Jobs 92 o\luE{H
.? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ~"*;lT5KX 5.3 输入材料 94 ):_x 5.4 设计数据文件夹 95 "p\XaClpz 5.5 默认设计 95 p ?HODwZ 6 细化和合成 97 N
-]m <z> 6.1 优化介绍 97 W`PK9juu 6.2 细化 (Refinement) 98 Yb|zE 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]rh)AE!Y( 6.4 目标和评价函数 101 iK"j@1| 6.4.1 目标输入 102 h ,@x5q>g 6.4.2 目标 103 o^Y'e+T" 6.4.3 特殊的评价函数 104 rr[9sk`^H 6.5 层锁定和连接 104 !HXdUAKu 6.6 细化技术 104 7<=7RPWmD 6.6.1 单纯形 105 wBcDL/(> 6.6.1.1 单纯形参数 106 K6,5C0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 b* 6c.
6.6.2.1 Optimac参数 108 Lh &L5p7 6.6.3 模拟退火算法 109 a<V=C 6.6.3.1 模拟退火参数 109 azB~>#H~ 6.6.4 共轭梯度 111 n#N<zC/ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 rrSA.J{ 6.6.5 拟牛顿法 112 fxLhVJ"b 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 X/1Z9a+W 6.6.6 针合成 113 `.dTkL 6.6.6.1 针合成参数 114 ,gU9ywg 6.6.7 差分进化 114 n20H{TA 6.6.8非局部细化 115 e<^tY0rR& 6.6.8.1非局部细化参数 115 <,0&Ox 6.7 我应该使用哪种技术? 116 kmW!0hm;e 6.7.1 细化 116 [,5clR=F 6.7.2 合成 117 nm'm*sU\ 6.8 参考文献 117 >?e*;f$VdJ 7 导纳图及其他工具 118 _>5BFQ_ 7.1 简介 118 ej<z]{`05 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 YKh%`Y1< 7.2.1 四分之一波长规则 119 LM _4.J 7.2.2 导纳图 120 4PUM.% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !9o8v0ZI 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #U/B,`= > 7.5 斜入射导纳图 141 No[xf9>t 7.6 对称周期 141 V!KtF 7.7 参考文献 142 ]?)zH:2) 8 典型的镀膜实例 143 rMlbj2T 8.1 单层抗反射薄膜 145 kX1hcAa 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 5<w0*~Zd~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7*XG]=z/ 8.4 W-膜层 148 PfrW,R~r 8.5 V-膜层 149 ij hMJ?3 8.6 V-膜层高折射基底 150 v2@M,xbxF: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 JmYi& 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 I)B2Z(<Q 8.9 四层抗反射薄膜 153 00pHnNoxW 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 N=+Up\h 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 N7#GK]n%/} 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Q|G[9HBI 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 P6=|C;[ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 sZ4H\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R4qk/@]t 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9DtSYd/ 8.17 1/4波长堆栈 162 h V8A<VT 8.18 陷波滤波器 163 SyYa_=En 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U |4%ydG 8.20 褶皱 165 oW+R:2I~O 8.21 消偏振分光器1 169 \O/=g6w|t} 8.22 消偏振分光器2 171 \aW5V: ? 8.23 消偏振立体分光器 172 +vbNZqwz 8.24 消偏振截止滤光片 173 b`:Eo+p 8.25 立体偏振分束器1 174 fCVSVn"o 8.26 立方偏振分束器2 177 Vk_L*lcN 8.27 相位延迟器 178 d#z67Nl6 8.28 红外截止器 179 cL
WM]\Y 8.29 21层长波带通滤波器 180 )O&$-4gL' 8.30 49层长波带通滤波器 181 aVtwpkgZ 8.31 55层短波带通滤波器 182 ZK'I$p]b 8.32 47 红外截止器 183 oL6_Ya 8.33 宽带通滤波器 184
xjX5 PQu 8.34 诱导透射滤波器 186 5g&'n 8.35 诱导透射滤波器2 188 6% ,Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (Pu*[STTT 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 l/I W"A 8.35 增益平坦滤波器 193 (?3(=+t 8.38 啁啾反射镜 1 196 '",5Bu#C 8.39 啁啾反射镜2 198 HxM-VK ' 8.40 啁啾反射镜3 199 `H|g~7KD& 8.41 带保护层的铝膜层 200 L'6zs:i 8.42 增加铝反射率膜 201 7v:;`6Jb 8.43 参考文献 202 n_+Iw,a'm 9 多层膜 204 g+CHF?O 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {l1;&y? 9.2 内部透过率 204 0!zWXKX 9.3 内部透射率数据 205 _6[NYv$" 9.4 实例 206 ><DE1tG 9.5 实例2 210 Gce_gZH7{ 9.6 圆锥和带宽计算 212 [lJ[kr*7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 @rdC/=Y[ 10 光学薄膜的颜色 216 :dj@i6 10.1 导言 216 PQs9@]w[ 10.2 色彩 216 ]zm6;/S 10.3 主波长和纯度 220 l%:_#1?isf 10.4 色相和纯度 221 qy]-YJZ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ':[y]ep(~| 10.6 色差 226 oc?VAF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 u/zfx;K 10.8 颜色渲染指数 234 &vn9l#\( 10.9 色差计算 235 doa$
;=wg 10.10 参考文献 236 }qg!Um0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lV1|\~?4 11.1 短脉冲 238 93rE5eGs 11.2 群速度 239 $200?[ 11.3 群速度色散 241 _96&P7 11.4 啁啾(chirped) 245 'F~u \m=E 11.5 光学薄膜—相变 245 ~+g5?y 11.6 群延迟和延迟色散 246 8,=$>@u 11.7 色度色散 246 )2A4vU-IR. 11.8 色散补偿 249 <eI;Jph5 11.9 空间光线偏移 256 kDKpuA! 11.10 参考文献 258 yqU++;6 12 公差与误差 260 N$+"zJmw& |