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riOaqV 内容简介 "~r)_Ko Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I;"pPJ3G 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 >U`G3(#7S 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 C{m%]jKH <A=1]'1\r 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zMA;1Na 目录 &~+QPnI>Pm Preface 1 ^CLQs;zXE 内容简介 2 hsrf 2Xw[ 目录 i "P#1= 1 引言 1 >w<w*pC 2 光学薄膜基础 2 v=iiS}s 2.1 一般规则 2 UJh;Hp: 2.2 正交入射规则 3 pD({"A.x9z 2.3 斜入射规则 6 X-nC2[tu'W 2.4 精确计算 7 W;=Ae~ 2.5 相干性 8 l+ >eb 2.6 参考文献 10 3%5YUG@ 3 Essential Macleod的快速预览 10 hT 1JEu 4 Essential Macleod的特点 32 %H\J@{f 4.1 容量和局限性 33 gZ^Qt.6Z 4.2 程序在哪里? 33 (o IGp 4.3 数据文件 35 V6P-?Nd 4.4 设计规则 35 ^D+^~>f 4.5 材料数据库和资料库 37 :p}8#rb 4.5.1材料损失 38 CR'%=N04^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 w -o#=R_ 4.5.2 材料库 41 \X&8EW 4.5.3导出材料数据 43 T 'c39 4.6 常用单位 43 wjl )yo$z 4.7 插值和外推法 46 f0SrPc v 4.8 材料数据的平滑 50 3E*m.jX 4.9 更多光学常数模型 54 gep#o$P 4.10 文档的一般编辑规则 55 Sp X;nH-D 4.11 撤销和重做 56 l~;>KjZg 4.12 设计文档 57 pAatv;Ex 4.10.1 公式 58 tjFX(;^[ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 e1-tpD:J 4.10.3 沉积密度 59
iiQn/% 4.10.4 平行和楔形介质 60 :1UMA@HP 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~>(~2083*; 4.10.4 性能 61 ISNL='% 4.10.5 保存设计和性能 64 b v_UroTr 4.10.6 默认设计 64 ^C'0Y.H S 4.11 图表 64 ujxr/8mjV 4.11.1 合并曲线图 67 p}JOiiHa 4.11.2 自适应绘制 68
Qh&Qsyo% 4.11.3 动态绘图 68 -:ucp2 4.11.4 3D绘图 69 At:8+S<?A 4.12 导入和导出 73 Su,:f_If, 4.12.1 剪贴板 73 PX|@D_%Y= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?yS1|CF%&y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 GAgTy 4.13 背景 77 D;C';O 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 @5nFa~*K% 4.15 生成Rugate 84 Q"qI'*Kgt 4.16 参考文献 91 #_35bg4h{ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 W#<1504ip 5.1 Jobs 92 r+Ki`HD% 5.2 创建一个新Job(工作) 93 0mSP 5.3 输入材料 94 /jGBQ-X 5.4 设计数据文件夹 95 swF{}S" 5.5 默认设计 95 -n05Z@7 6 细化和合成 97 k B>F(^ 6.1 优化介绍 97 vv
,4n&D 6.2 细化 (Refinement) 98 GHGyeqNM 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]Orx%8QS! 6.4 目标和评价函数 101 JaY"Wfc 6.4.1 目标输入 102 {zAI-?#*u 6.4.2 目标 103 r+FEgSDa] 6.4.3 特殊的评价函数 104 [HQ)4xG 6.5 层锁定和连接 104 3{3@>8{w 6.6 细化技术 104 w95M
B*N 6.6.1 单纯形 105 }'x;J 6.6.1.1 单纯形参数 106 <PpvVDy3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 tz@MZs09 6.6.2.1 Optimac参数 108 k3#'g'>yh 6.6.3 模拟退火算法 109 tVn?cS 6.6.3.1 模拟退火参数 109 p'
>i3T( 6.6.4 共轭梯度 111 W91yj: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 GF ux?8A:% 6.6.5 拟牛顿法 112 lv
8EfN 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 5YD~l(,S1] 6.6.6 针合成 113 ~w>h#{RB 6.6.6.1 针合成参数 114 2 kDsIEA 6.6.7 差分进化 114 J3 _aHI 6.6.8非局部细化 115 !?>V^#c 6.6.8.1非局部细化参数 115 6CBk=)qH 6.7 我应该使用哪种技术? 116 gN=.}$Kfu 6.7.1 细化 116 Ym6d'd<9( 6.7.2 合成 117 `t U 6.8 参考文献 117 SB\%"nnV 7 导纳图及其他工具 118 OT{"C"%5t 7.1 简介 118 !&VfOx:PN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'Z`7/I4& 7.2.1 四分之一波长规则 119 3xChik{ 7.2.2 导纳图 120 >aVgI<
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 sasurR|; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
lgOAc, 7.5 斜入射导纳图 141 fM;,9 7.6 对称周期 141 I'uwJy_I\ 7.7 参考文献 142 Tz]R}DKB& 8 典型的镀膜实例 143 2zTi/&K& 8.1 单层抗反射薄膜 145 ,S-h~x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 @RoZd? 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 KrE'M 8.4 W-膜层 148
X06Lr!-% 8.5 V-膜层 149 L!fTYX#K] 8.6 V-膜层高折射基底 150 s\-,RQ1 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
po*G`b;v 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _VrY7Mz:r 8.9 四层抗反射薄膜 153 \/NF??k,jk 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 T D_@0Rd 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Q7s@,c!m_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5f-b>=02 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~ nsb 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Gnkar[oa& 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Kw
-SOFE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 wX,V:QE
8.17 1/4波长堆栈 162 %=aKW[uq] 8.18 陷波滤波器 163 ?5C'9 V 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 TekUY m!G 8.20 褶皱 165 ?E([Nc0T 8.21 消偏振分光器1 169 UnhVppnex 8.22 消偏振分光器2 171 L:G#> 8.23 消偏振立体分光器 172 " 9Gn/-V> 8.24 消偏振截止滤光片 173 H71sxek3 8.25 立体偏振分束器1 174 AcH-TIgM/ 8.26 立方偏振分束器2 177 *T5;dh ( 8.27 相位延迟器 178 "j^i6RS 8.28 红外截止器 179 fj_23{,/"g 8.29 21层长波带通滤波器 180 1+x"
5<(W 8.30 49层长波带通滤波器 181 N^Re 8.31 55层短波带通滤波器 182 G7 %bY 8.32 47 红外截止器 183 @+u>rS|IB 8.33 宽带通滤波器 184 C 0w+
j 8.34 诱导透射滤波器 186 /A=w`[< 8.35 诱导透射滤波器2 188 AJPvwu}D 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 zCx4DN` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 /).{h'^Hq\ 8.35 增益平坦滤波器 193 </h^%mnd 8.38 啁啾反射镜 1 196 V>{< pS 8.39 啁啾反射镜2 198 h@:K=ggK 8.40 啁啾反射镜3 199 ht3.e[%'b 8.41 带保护层的铝膜层 200 ~4~`bT9 8.42 增加铝反射率膜 201 ]?Ef0?44 8.43 参考文献 202 }Z!D?( 9 多层膜 204 tq3Wga!5 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *r7vDc 9.2 内部透过率 204 Yd^@Ei9 9.3 内部透射率数据 205 .|UQ)J?s 9.4 实例 206 u^80NR 9.5 实例2 210 G-aR%]7$g 9.6 圆锥和带宽计算 212 $<}c[Nm 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Zi!Ta"}8 10 光学薄膜的颜色 216 $NXP)Lic) 10.1 导言 216 F@w; .e! 10.2 色彩 216 xs$$fPAQ 10.3 主波长和纯度 220 3*b5V<}'| 10.4 色相和纯度 221 [ERZ".? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 cnv>&6a) 10.6 色差 226 w0pMH p'Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 YGp+[|' 10.8 颜色渲染指数 234 zw0w."V
10.9 色差计算 235 Rj8%% G-pt 10.10 参考文献 236 JfY*#({y 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *XVwTW[a 11.1 短脉冲 238 \@LTXH. 11.2 群速度 239 I=Y>z^4 11.3 群速度色散 241 a?cJl 11.4 啁啾(chirped) 245 qWt}8_" 11.5 光学薄膜—相变 245 t}EMX9SQ 11.6 群延迟和延迟色散 246 7s9h:/Lu 11.7 色度色散 246 qUe
_B 11.8 色散补偿 249
6@S6E(^ 11.9 空间光线偏移 256 sDY~jP[Oa 11.10 参考文献 258 gq?:n.;TY 12 公差与误差 260 TkbaoD 12.1 蒙特卡罗模型 260 PNU(;&2< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Szu s*YL7 12.2.1 误差工具 267 APQq F/ 12.2.2 灵敏度工具 271 5j%G7.S\ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,$P,x 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Jd2.j?P= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 jG5HW*>k0 12.3 参考文献 276 4w4B\Na>l 13 Runsheet 与Simulator 277 *7BfK(9T 13.1 原理介绍 277 [}RoZB&I 13.2 截止滤光片设计 277 jN=<dq
~ 14 光学常数提取 289 2z.ot' 14.1 介绍 289 2Xb,
i 14.2 电介质薄膜 289 ]S|FK>U[ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ZykMri3bi 14.4 基底的参数提取 302 >t D=t8 14.5 金属的参数提取 306 zM0NRERi 14.6 不正确的模型 306 @[$_cGR7 14.7 参考文献 311 [,%=\%5 15 反演工程 313 Z 6jEj9?O 15.1 随机性和系统性 313 V7ph^^sC} 15.2 常见的系统性问题 314 Uv^\[ 15.3 单层膜 314 vDy&sgS$< 15.4 多层膜 314 <N<Q9}`V 15.5 含义 319 hy;VvAH5 15.6 反演工程实例 319 ao(T81 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 tF2"IP. 15.6.2 反演工程提取折射率 327 hbjAxioA 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 D}-.< 16.1 光学性质的热致偏移 329 :5d>^6eoB? 16.2 应力工具 335 |(7}0]BP0 16.3 均匀性误差 339 jm_-f 16.3.1 圆锥工具 339 7>JYwU{ 16.3.2 波前问题 341
B.z$0=b 16.4 参考文献 343 {Gxe%gu6K 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 R>Ra~b 17.1 引言 345 g(7-3q8eq 17.2 操作数 345 "Fz.#U 18 如何在Function中编写脚本 351 DwD$T%kF 18.1 简介 351 t [QD#; 18.2 什么是脚本? 351 {(73*-~$ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Bqx5N" 18.4 基础 352 ]rcF/uQJ<n 18.4.1 Classes(类别) 352 qnm_#!&uHT 18.4.2 对象 352 JAbUK[:K 18.4.3 信息(Messages) 352 "kg`TJf= 18.4.4 属性 352 #-hO\
QdC 18.4.5 方法 353 nHK(3Z4G 18.4.6 变量声明 353 Qm%F]nyy 18.5 创建对象 354 yNu_>!Cp5 18.5.1 创建对象函数 355 *zfgO pK 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 P
rt}
01$ 18.5.3 丢弃对象 356 %Bq~b$ 18.5.4 总结 356 bbm\y] !t 18.6 脚本中的表格 357 DA=!AK> 18.6.1 方法1 357 $KHm5*;nd 18.6.2 方法2 357 qA*~B' 18.7 2D Plots in Scripts 358 A_9WSXR 18.8 3D Plots in Scripts 359 sXKkZ+2q 18.9 注释 360 "TRS(d|3 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Bous d 18.11 一个更高级的脚本 362 9tiZIm93] 18.12 <esc>键 364 D0.
)% 18.13 包含文件 365 +`y(S}Z 18.14 脚本被优化调用 366 vSzpx 18.15 脚本中的对话框 368 Aoa8Q
E
18.15.1 介绍 368 lFBdiIw 18.15.2 消息框-MsgBox 368 'r;mm^cS? 18.15.3 输入框函数 370 :Mx 18.15.4 自定义对话框 371 =w2 4(S 18.15.5 对话框编辑器 371 Lx"GBEkt7 18.15.6 控制对话框 377 $:ush"=f8^ 18.15.7 更高级的对话框 380 8-$t7bV5 18.16 Types语句 384 ,5DJ54B! 18.17 打开文件 385 4WT[( 18.18 Bags 387 b UG,~\Z 18.13 进一步研究 388 sEhvx+( 19 vStack 389 9u=A:n\ 19.1 vStack基本原理 389 T^bAO-d# 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Y\xEPh 19.3 五棱镜 393 F!z0N 19.4 光束距离 396 1HJ:
?] 19.5 误差 399 oOFTQB_6 19.6 二向分色棱镜 399 FaHOutP 19.7 偏振泄漏 404 >CB-a : 19.8 波前误差—相位 405 "k zKQ~ 19.9 其它计算参数 405 }~FX!F#oU 20 报表生成器 406 M!&Hn,22 20.1 入门 406 ]4:QqdV 20.2 指令(Instructions) 406 tr<~:&H4T 20.3 页面布局指令 406 j,n:%5P\v 20.4 常见的参数图和三维图 407 TG2#$Bq1 20.5 表格中的常见参数 408 RQ+, 7Ir 20.6 迭代指令 408 ">V&{a-C4 20.7 报表模版 408 J,W<ha* 20.8 开始设计一个报表模版 409 wO??"${OH 21 一个新的project 413 E^8|xT'h6 21.1 创建一个新Job 414 J}|X 21.2 默认设计 415 fRp] 21.3 薄膜设计 416 %ms%0% 21.4 误差的灵敏度计算 420 LI,wSTVjC 21.5 显色指数计算 422 $b8[/], 21.6 电场分布 424 R'BB- 后记 426 1NYR8W]2 对此书有兴趣可以扫码加微联系 c3]t"TA,
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