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w}7`Vas9 内容简介 ysvn*9h+& Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 6"gncB. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~lQ]PKJ" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Hjlx,:'M ]%NCKOM 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 oq;}q 目录 zYH6+!VBH# Preface 1 egKYlfe" 内容简介 2 _*&<hAZj 目录 i I /RvU, 1 引言 1 |[xi"E\ 2 光学薄膜基础 2 W>s<&Vb 2.1 一般规则 2 4?8GK 2.2 正交入射规则 3 nEs l 2.3 斜入射规则 6 g,x$z~zU{ 2.4 精确计算 7 M*@MkN*u& 2.5 相干性 8 BXm{x6\ 2.6 参考文献 10 Ik~5j(^E- 3 Essential Macleod的快速预览 10 qOkw6jfluh 4 Essential Macleod的特点 32 c[ =9Z;| 4.1 容量和局限性 33 \$9S_z 4.2 程序在哪里? 33 ,{YC|uB 4.3 数据文件 35 >>&~;PG[ 4.4 设计规则 35 <o
p !dS 4.5 材料数据库和资料库 37 /n(0nU[ 4.5.1材料损失 38 v]vrD2L 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :qw:)i 4.5.2 材料库 41 O+(Z`,^ 4.5.3导出材料数据 43 `\#Qr|GC 4.6 常用单位 43 #]n[ 4.7 插值和外推法 46 m|e!1_:H 4.8 材料数据的平滑 50 [gD02a:u 4.9 更多光学常数模型 54 0(0Ep(Vj 4.10 文档的一般编辑规则 55 =]"[?a > 4.11 撤销和重做 56 "<bL-k*H) 4.12 设计文档 57 =OhhMAn 4.10.1 公式 58 c1b@3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 A9F&XF7{ 4.10.3 沉积密度 59 Z<xSU?J 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z=n& fsE 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `[Kh[| 4.10.4 性能 61 cLJ|VD7 4.10.5 保存设计和性能 64 \:^$ZBQr<n 4.10.6 默认设计 64 <9B43 4.11 图表 64 (S1$g ~t; 4.11.1 合并曲线图 67 i_f"?X;D 4.11.2 自适应绘制 68 )FE'#\ 4.11.3 动态绘图 68 |+ @ 4.11.4 3D绘图 69 W9.ZhpM 4.12 导入和导出 73 trM8p 4.12.1 剪贴板 73 IRXpk6| 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &ViIxJZ1$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 SlsMMD 4.13 背景 77 &`t-[5O\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 -N*g|1rpa 4.15 生成Rugate 84 N4'b]:`n 4.16 参考文献 91 Zb8i[1 P 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 21G]d 5.1 Jobs 92 pLrNYo*d 5.2 创建一个新Job(工作) 93 V/J[~mN9 5.3 输入材料 94 TY~0UU$ 5.4 设计数据文件夹 95 P?\rRB 5.5 默认设计 95 m,qU}) 6 细化和合成 97 2{#*z%|z 6.1 优化介绍 97 Z
A7u66 6.2 细化 (Refinement) 98 ,tmo6D6 2 6.3 合成 (Synthesis) 100 EtN"K-X 6.4 目标和评价函数 101 Za4 YD 6.4.1 目标输入 102 WY0u9M4 6.4.2 目标 103 Sr%~
5Q[W 6.4.3 特殊的评价函数 104 +=U` 6.5 层锁定和连接 104 "fS9Nx3 6.6 细化技术 104 CM8WI~ 6.6.1 单纯形 105 Iu%/~FgPj{ 6.6.1.1 单纯形参数 106 {n
# 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 j&[63XSe 6.6.2.1 Optimac参数 108 Y==# yNwM 6.6.3 模拟退火算法 109 D)4p8-=t 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Ypha{d 6.6.4 共轭梯度 111 hW
_NARA 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 5as';1^P&* 6.6.5 拟牛顿法 112 +xFtGF) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 "yL&?B"9@ 6.6.6 针合成 113 Sg')w1 6.6.6.1 针合成参数 114 Br1JZHgA 6.6.7 差分进化 114 )bPwB.} kq 6.6.8非局部细化 115 st/Tb/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 uqX"^dn4u 6.7 我应该使用哪种技术? 116 (Q#ArMMORI 6.7.1 细化 116 $(#o)r>_R 6.7.2 合成 117 'HPw5 L 6.8 参考文献 117 iTqv= 7 导纳图及其他工具 118 LP#CA^*S 7.1 简介 118 rx|/]NE; 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ",Ek| z 7.2.1 四分之一波长规则 119 6L'cD1pu 7.2.2 导纳图 120 ~8}"X] 4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~O|j*T 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 At +on9&= 7.5 斜入射导纳图 141 %Xkynso~ 7.6 对称周期 141 y)Ip\.KV\ 7.7 参考文献 142 i|.!*/qF 8 典型的镀膜实例 143 \#G`$JD 8.1 单层抗反射薄膜 145 $5%tGFh 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 WNlWigwYl 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 T*|?]k
8@* 8.4 W-膜层 148 )u3<lpoTy 8.5 V-膜层 149 ;2#H M^Mu 8.6 V-膜层高折射基底 150 d=N5cCqq 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 kX5v!pm[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 yd#4b`8U` 8.9 四层抗反射薄膜 153 P8z++h 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 x\I9J4Q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 q\d'}:kfu 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 oV,>u5:B 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 pd>EUdbrp& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h#;fBQ]
8.15十五层宽带抗反射膜 159 n3~xiQ' 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~A>3k2N/e 8.17 1/4波长堆栈 162 ~wh8)rm 8.18 陷波滤波器 163 ~cU,3g 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Gd:fWz( 8.20 褶皱 165 "AUY+ LN 8.21 消偏振分光器1 169 |p.mA-81 8.22 消偏振分光器2 171 Z+I[ 8.23 消偏振立体分光器 172 [rE,fR 8.24 消偏振截止滤光片 173 k3^S^Bv\ 8.25 立体偏振分束器1 174 wyvs#T 8.26 立方偏振分束器2 177 JcvK]x 8.27 相位延迟器 178 /of,4aaK7 8.28 红外截止器 179 f0MHh5 8.29 21层长波带通滤波器 180 c|96;=z~ 8.30 49层长波带通滤波器 181 YNk?1#k?i 8.31 55层短波带通滤波器 182 6i{W=$RQ 8.32 47 红外截止器 183 yBs 8.33 宽带通滤波器 184 IBnJ6(. 8.34 诱导透射滤波器 186 0#XZ_(@% 8.35 诱导透射滤波器2 188 {IqbO>|"O_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 i#(T?=VPcy 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 CO5?UgA 8.35 增益平坦滤波器 193 jDy 8.38 啁啾反射镜 1 196 rf^1%Zo: 8.39 啁啾反射镜2 198 t4F 1[P 8.40 啁啾反射镜3 199 =GFlaGD 8.41 带保护层的铝膜层 200 o )Ob}j 8.42 增加铝反射率膜 201 6dq5f?w] 8.43 参考文献 202 AR/`]"' 9 多层膜 204 gd/W8*NFR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 nJA\P1@m 9.2 内部透过率 204 <7?MutHM- 9.3 内部透射率数据 205 k\zN h<^ 9.4 实例 206 9dSKlB5J 9.5 实例2 210 Q4_j`q 9.6 圆锥和带宽计算 212 Ed_A#@V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 OC"W=[Myl 10 光学薄膜的颜色 216 0'VwObq 10.1 导言 216 OW1[Y-o[ 10.2 色彩 216 #}e)*( 10.3 主波长和纯度 220 `')3} 10.4 色相和纯度 221 70*Y4'u}A 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 /d8PDc " 10.6 色差 226 A5Y z| 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 LGRX@nF# 10.8 颜色渲染指数 234 ~H)b vN^ 10.9 色差计算 235 8;Yx a8i e 10.10 参考文献 236 sh E>gTe 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 gbQrSJs!Zh 11.1 短脉冲 238 hZc$`V=R 11.2 群速度 239 8(5}Jo+ 11.3 群速度色散 241 lE$X9yIt 11.4 啁啾(chirped) 245
Hco[p+ 11.5 光学薄膜—相变 245 ks:Z=%o 11.6 群延迟和延迟色散 246 #pE:!D 11.7 色度色散 246 ndW??wiM 11.8 色散补偿 249 dhsQfWg#} 11.9 空间光线偏移 256 <EJ}9`t 11.10 参考文献 258 krI<'m;a 12 公差与误差 260 v\0[B jhL? 12.1 蒙特卡罗模型 260 vezX/x D? 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 F|%[s|s 12.2.1 误差工具 267 A$[@AY$MI 12.2.2 灵敏度工具 271 to]1QjW- 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !);'Bk9o 12.2.2.2 灵敏度分布 275 rjx6Ad/\ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 }(20MW8rMc 12.3 参考文献 276 y`7BR?l 13 Runsheet 与Simulator 277 (A/V(.! 13.1 原理介绍 277 [p[Kpunr{l 13.2 截止滤光片设计 277 lUUeM\ 14 光学常数提取 289 YM/GSSq 14.1 介绍 289 qmv%N 14.2 电介质薄膜 289 %0$$tS + 14.3 n 和k 的提取工具 295 g' H!%< 14.4 基底的参数提取 302 =<n+AqJ% 14.5 金属的参数提取 306 N3 07lGb 14.6 不正确的模型 306 zD7\Gv 14.7 参考文献 311 '-S^z"ZrI 15 反演工程 313 -:AknQq 15.1 随机性和系统性 313 50Pz+: 15.2 常见的系统性问题 314 !imm17XQ\ 15.3 单层膜 314 yzgDdAM 15.4 多层膜 314 NuLQkf) 15.5 含义 319 \h,S1KmIBD 15.6 反演工程实例 319 E@Q+[~H } 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [#M^:Q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 rpQB#
Pz 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^e8~eL+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 s(r(! FZ 16.2 应力工具 335 =Y?M#3P.I 16.3 均匀性误差 339
-[" .km 16.3.1 圆锥工具 339 %Z}A+Rv+*m 16.3.2 波前问题 341 7%V2 16.4 参考文献 343 K
p~x 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ~OAS T 17.1 引言 345 1|q$Wn:* 17.2 操作数 345 oV&AJ=|\ 18 如何在Function中编写脚本 351 7=aF-;X3jj 18.1 简介 351 @K3<K( 18.2 什么是脚本? 351 (kK6=Mrf 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 (6L[eWuTn 18.4 基础 352 ~?H _?}e 18.4.1 Classes(类别) 352 $*\[I{Zau} 18.4.2 对象 352 )lTkqz8v 18.4.3 信息(Messages) 352 c7[|x%~ 18.4.4 属性 352 4
B"tz! 18.4.5 方法 353 Fi14_{ 18.4.6 变量声明 353 >Ke4lO" 18.5 创建对象 354 am]$`7R5d 18.5.1 创建对象函数 355 *[) b}? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5<0&y3 18.5.3 丢弃对象 356 _%?}e|epy 18.5.4 总结 356 Rs$k3 18.6 脚本中的表格 357 `$ql>k-6C 18.6.1 方法1 357 )}0(7z
Yu 18.6.2 方法2 357 4. 7m* 18.7 2D Plots in Scripts 358 1(CpTaa 18.8 3D Plots in Scripts 359 D'$ki[{, 18.9 注释 360
:,h47'0A 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 l&R~I6^E 18.11 一个更高级的脚本 362 }Dc0 Y 18.12 <esc>键 364 +[<|TT 18.13 包含文件 365 Fo|6 PoSo 18.14 脚本被优化调用 366 LBh|4S$K 18.15 脚本中的对话框 368 C (L1 18.15.1 介绍 368 ODyK/Q3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 O(2)A>} 18.15.3 输入框函数 370 &^=6W3RD 18.15.4 自定义对话框 371 ,B_Nz}\8 18.15.5 对话框编辑器 371 j7IX"O%f\ 18.15.6 控制对话框 377 z@R:~ 18.15.7 更高级的对话框 380 %5?qS`/c( 18.16 Types语句 384
] lE6:^V 18.17 打开文件 385 /o Q^j'v 18.18 Bags 387 8=Xy19<;t 18.13 进一步研究 388 80TSE* 19 vStack 389 .bE+dA6:v 19.1 vStack基本原理 389 />=)=CGv; 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ebxpKtEC 19.3 五棱镜 393 1:h{(
%`& 19.4 光束距离 396 _Q_"_*e 19.5 误差 399 P~HzNC 19.6 二向分色棱镜 399 T PEg>[ 19.7 偏振泄漏 404 =~}\g;K1Q 19.8 波前误差—相位 405 :Q@=;P2 19.9 其它计算参数 405 3WZdP[o! 20 报表生成器 406 $$ma1.t" 20.1 入门 406 8 h 20.2 指令(Instructions) 406 R >f$*T
20.3 页面布局指令 406 .aTu]i3l_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 8,d<&3D 20.5 表格中的常见参数 408 ?WyL|;b* 20.6 迭代指令 408
_+73Y' 20.7 报表模版 408 Eh/B[u7T[ 20.8 开始设计一个报表模版 409 wQ-pIi{G 21 一个新的project 413 hfw$820y[ 21.1 创建一个新Job 414 BV_rk^}Ur 21.2 默认设计 415 >={?H?C 21.3 薄膜设计 416 VSns_>o 21.4 误差的灵敏度计算 420 ZZ|a`U 21.5 显色指数计算 422 M*li; 21.6 电场分布 424 O7 5^(keW 后记 426 E_k<EQ%r 对此书有兴趣可以扫码加微联系 GG@GjP<_
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