1. 建模任务 CNMcQP 1.1
模拟条件
9@3cz_[J 模拟区域:0~10
9u0<$UY% 边界条件:Periodic
9Ib#A 偏移
角度:12°(Domain A),-12°(Domain B)
6Cj$x.-K 单位长度:0.5
qe[P'\]L
}ebu@)r 5.M82rR;~ 1.2堆栈
结构 yt+d
f0l jCp^CNbA 2. 建模过程 Wd>gOE 2.1设置模拟条件
X+7@8)1(
nG4}8 )`5=6i 2.2创建堆栈结构,修改各层
参数 |\BxKwS^ \DMZ M N!lQ;o' 2.3创建掩膜并生成多畴结构
)dh_eqnX &"6%D|Z0 3. 结果分析 6<SX%Bc~ 3.1 指向矢分布和透过率
}'u0Q6Obj 1| XC$0 2A&Y